O meafaigaluega fa'apipi'i gaogao e masani lava ona aofia ai le tele o vaega autu, e ta'itasi ma lana lava galuega fa'apitoa, e galulue fa'atasi ina ia ausia lelei, fa'ameamea ata tifaga. Lalo o se faʻamatalaga o vaega autu ma a latou galuega:
Vaega Autu
Po'o gaogao:
Galuega: Tuuina atu se siosiomaga maualalo-mamago poʻo le maualuga-mamago e puipuia ai le mea faʻapipiʻi mai le tali atu i mea leaga i luga o le ea i le taimi o le faʻafefe poʻo le sputtering, faʻamautinoa le mama ma le lelei o le ata.
Fausia: E masani ona faia i le malosi maualuga, uamea poʻo le alumini, o le mamanu i totonu e amanaia le tufatufaina o le ea ma le faigofie o le tuʻuina o substrate.
Vacuum pump system:
Galuega: Fa'aaoga e pamu ai le kesi i totonu o le potu fa'amama e ausia ai le tulaga mana'omia.
Ituaiga: E aofia ai pamu faʻainisinia (faʻataʻitaʻiga o pamu vane), pamu turbomolecular, pamu faʻasalalau ma pamu ion.
Punavai fa'asao po'o le fa'apogai:
Galuega: fa'avevela ma fa'asao le mea fa'apipi'i e fai ai se ausa po'o se plasma i totonu o se vacuum.
Ituaiga: e aofia ai punavai faamafanafana tetee, puna eletise eletise evaporation puna, magnetron sputtering puna ma leisa puna evaporation, ma isi.
Mea fa'apipi'i ma le masini taamilo:
Galuega: Taofi le mea fa'apipi'i ma fa'amautinoa le tu'u tutusa o mea fa'apipi'i i luga o le pito i luga o le mea fa'apipi'i e ala i le ta'amilosaga po'o le fa'afefe.
FAIA: E masani ona aofia ai pipii fetuutuuna'i ma masini feliuliua'i/oscillating e fa'aoga ai substrate o foliga ma lapopo'a eseese.
Malosiaga tu'uina atu ma fa'atonu faiga:
Galuega: Tuuina atu le mana i le puna o le faʻaoso, puna puna ma isi mea faigaluega, ma faʻatonutonu tapulaʻa o le faagasologa atoa o le ufiufi e pei o le vevela, vacuum ma le taimi.
Vaega: E aofia ai sapalai eletise, vaega e pulea ai, masini komepiuta, ma masini mataʻituina.
Faiga Fa'apipi'i Kesi (mo mea fa'apipi'i fa'apipi'i):
Galuega: Tuuina atu kasa inert (fa'ata'ita'iga, argon) po'o kasa fa'afo'i (fa'ata'ita'iga, okesene, nitrogen) e fa'atumauina ai se plasma po'o le auai i se gaioiga fa'a-kemikolo e gaosia ai se ata manifinifi patino.
Vaega: E aofia ai fagu kesi, fa'atonuga o tafega, ma paipa kiliva kesi.
Faiga malulu:
Galuega: fa'amalieina le puna fa'asao, puna puna ma le potu gaogao e puipuia ai le vevela.
Ituaiga: aofia ai faiga malulu vai ma faiga malulu ea, ma isi.
Mata'itū ma su'esu'ega faiga:
Galuega: Mataʻituina taimi-taimi o taʻiala autu i le faʻagasologa o le ufiufi, e pei o le mafiafia o le ata, le faʻapipiʻiina, vacuum ma le vevela, ia mautinoa le lelei o le ufiufi.
Ituaiga: e aofia ai le quartz tioata microbalance, mataʻituina mafiafia mataʻutia ma suʻesuʻega kesi totoe, ma isi.
Meafaigaluega puipui:
Galuega: Faʻamautinoa le saogalemu o tagata faʻatautaia ma masini mai lamatiaga e mafua mai i le maualuga o le vevela, maualuga voltages poʻo siosiomaga gaogao.
Vaega: E aofia ai leoleo, faʻamau faʻalavelave faʻafuaseʻi ma fesoʻotaʻiga saogalemu, ma isi.
Aotele.
O meafaigaluega faʻapipiʻi gaogao e iloa ai le faagasologa o le teuina o ata manifinifi maualuga maualuga e ala i le galuega synergistic o nei vaega. O nei masini e iai se sao taua i le sauniaina o ata mata'utia, fa'aeletoroni, teuteuga ma galuega.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Iul-23-2024