Theoprema za vakuumsko premazovanjeSestavljen je iz številnih natančnih delov, ki so izdelani z različnimi postopki, kot so varjenje, brušenje, struženje, skobljanje, vrtanje, rezkanje in tako naprej. Zaradi teh del bo površina delov opreme neizogibno onesnažena z nekaterimi onesnaževalci, kot so mast, oljna umazanija, kovinski ostružki, varilni prašek, polirna pasta, sledi znoja in tako naprej. Ta onesnaževala v vakuumskih pogojih zlahka izhlapevajo, kar vpliva na končni vakuum opreme.
Poleg tega ti vakuumski onesnaževalci iz mehanske obdelave absorbirajo veliko količino plina v okolju atmosferskega tlaka, v vakuumskem stanju pa se ti prej adsorbirani plini ponovno sprostijo in postanejo pomemben dejavnik, ki omejuje mejni vakuum. Zaradi tega je treba onesnaževalci odstraniti, preden se sestavijo deli stroja za vakuumsko nanašanje premazov.
Med uporabo vakuumske opreme se onesnažijo tudi njene komponente. Vendar pa onesnaženje iz tega vira v glavnem povzročajo pogoji uporabe in vakuumska črpalka.
1. Izhlapevanje nitke vakuumskega merilnika pri visokih temperaturah bo povzročilo nastanek filma na keramičnem izolatorju, kar bo do neke mere poškodovalo njegovo izolacijsko trdnost in imelo tudi določen vpliv na natančnost meritev;
2. Zaradi izhlapevanja pri visoki temperaturi se bo na površini v bližini nitke elektronskega topa v vakuumu oblikoval kovinski film;
3. Zaradi naprševanja obdelovanca bo notranja stena opreme za jedkanje z ionskim žarkom onesnažena z brizganjem;
4. Notranja stena opreme za vakuumsko izhlapevanje bo onesnažena z materialom, ki ga uporablja za izhlapevanje;
5. Pogosto se uporablja vakuumski sušilni sistem, ki ga onesnažijo izhlapevajoče snovi;
6. Olje difuzijske črpalke in olje mehanske črpalke v opremi za vakuumsko nanašanje premazov sta prav tako pomemben vir onesnaženja. Po daljšem delovanju stroja za nanašanje premazov se lahko v notranjosti opreme tvori oljni film.
Če povzamemo, vakuumska sanacija opreme vključuje vakuumsko opremo, vakuumski sistem, vakuumski postopek proizvodnje in druge vidike ter povezave, pa tudi zahteve same opreme za vakuumsko nanašanje premazov in posebnega vakuumskega postopka glede pogojev uporabe. Zato je vakuumsko onesnaženje problem, vreden pozornosti, saj to onesnaženje vpliva na delovanje opreme in pozornost je treba nameniti rednemu ali občasnemu čiščenju.
Čas objave: 21. februar 2023