Temperaturni koeficient upornosti kovinske folije se spreminja z debelino folije, tanke folije so negativne, debele folije pozitivne, debelejše folije pa so podobne, vendar ne enake materialom v razsutem stanju. Na splošno se temperaturni koeficient upornosti spreminja iz negativnega v pozitivnega, ko se debelina folije poveča na več deset nanometrov.
Poleg tega hitrost izhlapevanja vpliva tudi na uporovni temperaturni koeficient kovinskih filmov. Nizka hitrost izhlapevanja povzroči, da je film ohlapen, elektroni prehajajo čez njegovo potencialno pregrado in sposobnost ustvarjanja prevodnosti so šibki, kar je povezano z oksidacijo in adsorpcijo, zato je vrednost upora visoka, uporovni temperaturni koeficient pa majhen ali celo negativen. Z naraščanjem hitrosti izhlapevanja se uporovni temperaturni koeficient nekoliko spremeni iz velikega v pozitivno. To je posledica nizke hitrosti izhlapevanja pripravljenega filma zaradi oksidacije polprevodniških lastnosti, uporovni temperaturni koeficient pa ima negativne vrednosti. Filmi, pripravljeni z visoko hitrostjo izhlapevanja, imajo običajno kovinske lastnosti in pozitiven uporovni temperaturni koeficient.
Ker se struktura filma nepovratno spreminja s temperaturo, se upornost in temperaturni koeficient upora filma spreminjata tudi s temperaturo prevleke med izhlapevanjem, in tanjša kot je folija, bolj drastična je sprememba. To si lahko predstavljamo kot posledico kemičnih sprememb, ki jih povzroča ponovno izhlapevanje in prerazporeditev delcev filma s približno otoško ali cevasto strukturo na substratu, pa tudi sipanje mreže, sipanje nečistoč, sipanje napak mreže in oksidacija.
–Ta članek je objavilizdelava strojev za vakuumsko lakiranjer Guangdong Zhenhua
Čas objave: 18. januar 2024