Neposredno nanašanje z ionskim snopom je vrsta nanašanja s pomočjo ionskega snopa. Neposredno nanašanje z ionskim snopom je nanašanje z ionskim snopom brez masne ločenosti. Ta tehnika je bila prvič uporabljena za izdelavo diamantno podobnih ogljikovih filmov leta 1971, na podlagi načela, da je glavni del katode in anode ionskega vira izdelan iz ogljika.
Občutljiv plin se uvede v razelektritveno komoro, nato pa se doda zunanje magnetno polje, ki povzroči plazemsko razelektritev pod nizkim tlakom, pri čemer se zanaša na učinek razprševanja ionov na elektrodah, da nastanejo ogljikovi ioni. Ogljikovi ioni in gosti ioni v plazmi so bili hkrati inducirani v odlagalno komoro in so bili zaradi negativnega predtlaka na substratu pospešeni, da so bili vbrizgani na substrat.
Rezultati testov kažejo, da so ogljikovi ioni z energijo 50~100 eV prisobatemperatura, v Si, NaCl, KCl, Ni in drugih substratih za pripravo prozornega diamantu podobnega ogljikovega filma, upornost do 10 Q-cm, lomni količnik približno 2, netopen v anorganskih in organskih kislinah, ima zelo visoko trdoto.
——Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 31. avg. 2023