Oprema za vakuumsko nanašanje premazov je običajno sestavljena iz več ključnih komponent, od katerih ima vsaka svojo specifično funkcijo, ki delujejo usklajeno za doseganje učinkovitega in enakomernega nanašanja filma. Spodaj je opis glavnih komponent in njihovih funkcij:
Glavne komponente
Vakuumska komora:
Funkcija: Zagotavlja okolje nizkega tlaka ali visokega vakuuma, ki preprečuje reakcijo premaznega materiala z nečistočami v zraku med izhlapevanjem ali naprševanjem, s čimer se zagotavlja čistost in kakovost filma.
Struktura: Običajno je izdelana iz visoko trdnega nerjavečega jekla ali aluminija, notranja zasnova pa upošteva porazdelitev pretoka zraka in enostavnost namestitve substrata.
Sistem vakuumske črpalke:
Funkcija: Uporablja se za črpanje plina znotraj vakuumske komore za doseganje zahtevane ravni vakuuma.
Vrste: Vključno z mehanskimi črpalkami (npr. rotacijskimi krilnimi črpalkami), turbomolekularnimi črpalkami, difuzijskimi črpalkami in ionskimi črpalkami.
Vir izhlapevanja ali vir razprševanja:
Funkcija: segreva in izhlapeva premazni material, da se v vakuumu tvori para ali plazma.
Vrste: vključno z virom uporovnega segrevanja, virom izhlapevanja elektronskega žarka, virom magnetronskega razprševanja in virom laserskega izhlapevanja itd.
Držalo substrata in vrtljivi mehanizem:
Funkcija: Drži substrat in zagotavlja enakomerno nanašanje premaznega materiala na površino substrata z vrtenjem ali nihanjem.
KONSTRUKCIJA: Običajno vključuje nastavljive spone in vrtljive/nihajne mehanizme za namestitev na podlage različnih oblik in velikosti.
Napajanje in krmilni sistem:
Funkcija: Zagotavlja napajanje vira izhlapevanja, vira razprševanja in druge opreme ter nadzoruje parametre celotnega postopka nanašanja premaza, kot so temperatura, vakuum in čas.
Komponente: Vključuje napajalnike, nadzorne plošče, računalniške krmilne sisteme in nadzorne senzorje.
Sistem za dovod plina (za opremo za brizganje):
Funkcija: Dovaja inertne pline (npr. argon) ali reaktivne pline (npr. kisik, dušik) za vzdrževanje plazme ali za sodelovanje v kemični reakciji za nastanek specifičnega tankega filma.
Komponente: Vključuje plinske jeklenke, regulatorje pretoka in cevi za dovod plina.
Hladilni sistem:
Funkcija: hladi vir izhlapevanja, vir razprševanja in vakuumsko komoro, da prepreči pregrevanje.
Vrste: vključujejo sisteme za vodno hlajenje in sisteme za zračno hlajenje itd.
Sistem za spremljanje in zaznavanje:
Funkcija: Spremljanje ključnih parametrov v procesu nanašanja premaza v realnem času, kot so debelina filma, hitrost nanašanja, vakuum in temperatura, za zagotavljanje kakovosti premaza.
Vrste: vključno s kremenčevimi kristalnimi mikrotehtnicami, optičnimi merilniki debeline in analizatorji preostalih plinov itd.
Zaščitne naprave:
Funkcija: Zagotavlja varnost upravljavcev in opreme pred nevarnostmi, ki jih povzročajo visoke temperature, visoke napetosti ali vakuumsko okolje.
Komponente: Vključuje varovala, gumbe za zaustavitev v sili in varnostne blokade itd.
Povzemi.
Oprema za vakuumsko nanašanje lakov omogoča nanašanje visokokakovostnih tankih filmov s sinergijskim delovanjem teh komponent. Ti stroji igrajo ključno vlogo pri pripravi optičnih, elektronskih, dekorativnih in funkcionalnih tankih filmov.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 23. julij 2024