Ten/Tá/Tozariadenie na vákuové nanášaniesa skladá z mnohých presných dielov, ktoré sa vyrábajú mnohými procesmi, ako je zváranie, brúsenie, sústruženie, hobľovanie, vŕtanie, frézovanie atď. V dôsledku týchto prác bude povrch častí zariadenia nevyhnutne kontaminovaný niektorými znečisťujúcimi látkami, ako sú mastnota, olejové nečistoty, kovové triesky, zváracie tavidlo, leštiaca pasta, stopy potu atď. Tieto znečisťujúce látky sa vo vákuových podmienkach ľahko odparujú, čo ovplyvňuje konečné vákuum zariadenia.
Okrem toho tieto znečisťujúce látky vo vákuu z mechanického spracovania absorbujú veľké množstvo plynu v prostredí atmosférického tlaku a vo vákuu sa tieto predtým adsorbované plyny opäť uvoľnia, čo sa stane hlavným faktorom obmedzujúcim medzné vákuum. Z tohto dôvodu sa znečisťujúce látky musia odstrániť pred montážou častí vákuového nanášacieho stroja.
Počas používania vákuového zariadenia sa kontaminujú aj jeho komponenty. Znečistenie z tohto zdroja je však spôsobené najmä podmienkami používania a vákuovou vývevou.
1. Odparovanie vlákna vákuomeru za podmienok vysokej teploty povedie k vytvoreniu filmu na keramickom izolátore, čo do určitej miery poškodí jeho izolačnú pevnosť a bude mať tiež určitý vplyv na presnosť jeho merania;
2. V dôsledku odparovania pri vysokej teplote sa vo vákuu na povrchu v blízkosti vlákna elektrónovej pištole vytvorí kovový film;
3. V dôsledku naprašovania obrobku bude vnútorná stena zariadenia na leptanie iónovým lúčom kontaminovaná postriekaním;
4. Vnútorná stena zariadenia na vákuové odparovanie bude kontaminovaná materiálom, z ktorého je nanášaný odparovací materiál;
5. Často sa používa vákuový sušiaci systém a systém bude kontaminovaný odparenými látkami;
6. Olej difúzneho čerpadla a olej mechanického čerpadla vo vákuovom nanášacom zariadení sú tiež hlavným zdrojom znečistenia. Po dlhej prevádzke nanášacieho stroja sa vo vnútri zariadenia môže vytvoriť olejový film.
Stručne povedané, vákuová sanitácia zariadení zahŕňa vákuové zariadenie, vákuový systém, vákuový proces výroby a ďalšie aspekty a súvislosti, ako aj požiadavky samotného vákuového lakovacieho zariadenia a špeciálneho vákuového procesu na podmienky používania. Preto je znečistenie vákuom problémom hodným pozornosti, pretože toto znečistenie ovplyvňuje výkon zariadenia a pozornosť by sa mala venovať pravidelnému alebo kedykoľvekmu čisteniu.
Čas uverejnenia: 21. februára 2023