Zariadenie na vákuové nanášanie sa zvyčajne skladá z niekoľkých kľúčových komponentov, z ktorých každý má svoju vlastnú špecifickú funkciu a ktoré spolupracujú na dosiahnutí efektívneho a rovnomerného nanášania filmu. Nižšie je uvedený popis hlavných komponentov a ich funkcií:
Hlavné komponenty
Vákuová komora:
Funkcia: Poskytuje prostredie s nízkym tlakom alebo vysokým vákuom, ktoré zabraňuje reakcii náterového materiálu s nečistotami vo vzduchu počas odparovania alebo naprašovania, čím sa zabezpečuje čistota a kvalita filmu.
Konštrukcia: Zvyčajne vyrobená z vysokopevnostnej nehrdzavejúcej ocele alebo hliníka, vnútorná konštrukcia zohľadňuje rozloženie prúdenia vzduchu a jednoduché umiestnenie substrátu.
Systém vákuového čerpadla:
Funkcia: Používa sa na odčerpávanie plynu vo vnútri vákuovej komory na dosiahnutie požadovanej úrovne vákua.
Typy: Vrátane mechanických čerpadiel (napr. rotačných lopatkových čerpadiel), turbomolekulárnych čerpadiel, difúznych čerpadiel a iónových čerpadiel.
Zdroj odparovania alebo zdroj rozprašovania:
Funkcia: zahrieva a odparuje náterový materiál za vzniku pary alebo plazmy vo vákuu.
Typy: vrátane zdroja odporového ohrevu, zdroja odparovania elektrónovým lúčom, zdroja magnetrónového naprašovania a zdroja laserového odparovania atď.
Držiak substrátu a rotačný mechanizmus:
Funkcia: Drží substrát a zabezpečuje rovnomerné nanášanie náterového materiálu na povrch substrátu rotáciou alebo osciláciou.
KONŠTRUKCIA: Typicky obsahuje nastaviteľné svorky a rotačné/oscilačné mechanizmy na prispôsobenie sa substrátom rôznych tvarov a veľkostí.
Napájací a riadiaci systém:
Funkcia: Napája zdroj odparovania, zdroj naprašovania a ďalšie zariadenia a riadi parametre celého procesu nanášania povlaku, ako je teplota, vákuum a čas.
Komponenty: Zahŕňa napájacie zdroje, ovládacie panely, počítačové riadiace systémy a monitorovacie senzory.
Systém prívodu plynu (pre zariadenie na naprašovanie):
Funkcia: Dodáva inertné plyny (napr. argón) alebo reaktívne plyny (napr. kyslík, dusík) na udržanie plazmy alebo na účasť v chemickej reakcii za účelom vytvorenia špecifického tenkého filmu.
Komponenty: Zahŕňa plynové fľaše, regulátory prietoku a potrubie na dodávku plynu.
Chladiaci systém:
Funkcia: chladí zdroj odparovania, zdroj naprašovania a vákuovú komoru, aby sa zabránilo prehriatiu.
Typy: zahŕňajú vodné chladiace systémy a vzduchové chladiace systémy atď.
Monitorovací a detekčný systém:
Funkcia: Monitorovanie kľúčových parametrov v procese nanášania povlaku v reálnom čase, ako je hrúbka filmu, rýchlosť nanášania, vákuum a teplota, na zabezpečenie kvality povlaku.
Typy: vrátane mikrováh z kremenného kryštálu, optického monitora hrúbky a analyzátora zvyškových plynov atď.
Ochranné zariadenia:
Funkcia: Zaisťuje bezpečnosť obsluhy a zariadení pred nebezpečenstvami spôsobenými vysokými teplotami, vysokým napätím alebo vákuovým prostredím.
Komponenty: Zahŕňa ochranné kryty, tlačidlá núdzového zastavenia a bezpečnostné blokovacie zariadenia atď.
Zhrňte.
Vákuové nanášacie zariadenia realizujú proces nanášania vysokokvalitných tenkých vrstiev prostredníctvom synergického pôsobenia týchto komponentov. Tieto stroje zohrávajú kľúčovú úlohu pri príprave optických, elektronických, dekoratívnych a funkčných tenkých vrstiev.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 23. júla 2024