රික්ත ආලේපන උපකරණ සාමාන්යයෙන් ප්රධාන සංරචක කිහිපයකින් සමන්විත වන අතර, ඒ සෑම එකක්ම තමන්ගේම නිශ්චිත කාර්යයක් ඇති අතර, කාර්යක්ෂම, ඒකාකාර පටල තැන්පත් කිරීමක් ලබා ගැනීම සඳහා ඒකාබද්ධව ක්රියා කරයි. ප්රධාන සංරචක සහ ඒවායේ කාර්යයන් පිළිබඳ විස්තරයක් පහත දැක්වේ:
ප්රධාන සංරචක
රික්තක කුටිය:
ක්රියාකාරිත්වය: වාෂ්පීකරණයේදී හෝ ඉසීමේදී ආලේපන ද්රව්ය වාතයේ ඇති අපද්රව්ය සමඟ ප්රතික්රියා කිරීම වැළැක්වීම සඳහා අඩු පීඩන හෝ අධි රික්තක පරිසරයක් සපයයි, එමඟින් පටලයේ සංශුද්ධතාවය සහ ගුණාත්මකභාවය සහතික කෙරේ.
ව්යුහය: සාමාන්යයෙන් ඉහළ ශක්තියක් සහිත, මල නොබැඳෙන වානේ හෝ ඇලුමිනියම් වලින් සාදා ඇති මෙම අභ්යන්තර සැලසුම වායු ප්රවාහ ව්යාප්තිය සහ උපස්ථර ස්ථානගත කිරීමේ පහසුව සැලකිල්ලට ගනී.
රික්ත පොම්ප පද්ධතිය:
කාර්යය: අවශ්ය රික්තක මට්ටම ලබා ගැනීම සඳහා රික්තක කුටිය තුළ ඇති වායුව පොම්ප කිරීමට භාවිතා කරයි.
වර්ග: යාන්ත්රික පොම්ප (උදා: භ්රමණ වේන් පොම්ප), ටර්බෝමොලිකියුලර් පොම්ප, විසරණ පොම්ප සහ අයන පොම්ප ඇතුළුව.
වාෂ්පීකරණ ප්රභවය හෝ ඉසින ප්රභවය:
ක්රියාකාරිත්වය: රික්තයක් තුළ වාෂ්පයක් හෝ ප්ලාස්මාවක් සෑදීම සඳහා ආලේපන ද්රව්ය රත් කර වාෂ්පීකරණය කරයි.
වර්ග: ප්රතිරෝධක තාපන ප්රභවය, ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ ප්රභවය, මැග්නට්රෝන ඉසින ප්රභවය සහ ලේසර් වාෂ්පීකරණ ප්රභවය යනාදිය ඇතුළුව.
උපස්ථර රඳවනය සහ භ්රමණ යාන්ත්රණය:
ක්රියාකාරිත්වය: උපස්ථරය රඳවා තබා ගන්නා අතර භ්රමණය හෝ දෝලනය මගින් උපස්ථරයේ මතුපිට ආලේපන ද්රව්ය ඒකාකාරව තැන්පත් වීම සහතික කරයි.
ඉදිකිරීම්: සාමාන්යයෙන් විවිධ හැඩයන් සහ ප්රමාණයන්ගෙන් යුත් උපස්ථර සඳහා ඉඩ සැලසීමට වෙනස් කළ හැකි කලම්ප සහ භ්රමණය වන/දෝලනය වන යාන්ත්රණ ඇතුළත් වේ.
බල සැපයුම සහ පාලන පද්ධතිය:
ක්රියාකාරිත්වය: වාෂ්පීකරණ ප්රභවය, ඉසින ප්රභවය සහ අනෙකුත් උපකරණ සඳහා බලය සපයන අතර උෂ්ණත්වය, රික්තය සහ කාලය වැනි සමස්ත ආලේපන ක්රියාවලියේ පරාමිතීන් පාලනය කරයි.
සංරචක: බල සැපයුම්, පාලන පැනල්, පරිගණකගත පාලන පද්ධති සහ අධීක්ෂණ සංවේදක ඇතුළත් වේ.
ගෑස් සැපයුම් පද්ධතිය (ස්පටර් ආලේපන උපකරණ සඳහා):
ක්රියාකාරිත්වය: ප්ලාස්මාවක් පවත්වා ගැනීමට හෝ නිශ්චිත තුනී පටලයක් ජනනය කිරීම සඳහා රසායනික ප්රතික්රියාවකට සහභාගී වීමට නිෂ්ක්රීය වායු (උදා: ආගන්) හෝ ප්රතික්රියාශීලී වායු (උදා: ඔක්සිජන්, නයිට්රජන්) සපයයි.
සංරචක: ගෑස් සිලින්ඩර, ප්රවාහ පාලක සහ ගෑස් බෙදා හැරීමේ නල මාර්ග ඇතුළත් වේ.
සිසිලන පද්ධතිය:
ක්රියාකාරිත්වය: අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා වාෂ්පීකරණ ප්රභවය, ඉසින ප්රභවය සහ රික්ත කුටිය සිසිල් කරයි.
වර්ග: ජල සිසිලන පද්ධති සහ වායු සිසිලන පද්ධති ආදිය ඇතුළත් වේ.
අධීක්ෂණ සහ හඳුනාගැනීමේ පද්ධතිය:
ක්රියාකාරිත්වය: ආලේපනයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා ආලේපන ක්රියාවලියේ ප්රධාන පරාමිතීන් වන පටල ඝණකම, තැන්පත් වීමේ අනුපාතය, රික්තය සහ උෂ්ණත්වය තත්ය කාලීනව නිරීක්ෂණය කිරීම.
වර්ග: ක්වාර්ට්ස් ස්ඵටික ක්ෂුද්ර තුලනය, දෘශ්ය ඝණකම මොනිටරය සහ අවශේෂ වායු විශ්ලේෂකය ආදිය ඇතුළුව.
ආරක්ෂක උපාංග:
කාර්යය: අධික උෂ්ණත්වය, අධි වෝල්ටීයතාවය හෝ රික්ත පරිසරයන් නිසා ඇතිවන අනතුරු වලින් ක්රියාකරුවන්ගේ සහ උපකරණවල ආරක්ෂාව සහතික කරයි.
සංරචක: ආරක්ෂකයන්, හදිසි නැවතුම් බොත්තම් සහ ආරක්ෂිත අන්තර් අගුල් ආදිය ඇතුළත් වේ.
සාරාංශ කරන්න.
රික්ත ආලේපන උපකරණ මෙම සංරචකවල සහයෝගී ක්රියාකාරිත්වය හරහා උසස් තත්ත්වයේ තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලිය සාක්ෂාත් කර ගනී. මෙම යන්ත්ර දෘශ්ය, ඉලෙක්ට්රොනික, අලංකාර සහ ක්රියාකාරී තුනී පටල සකස් කිරීමේදී වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයාGuangdong Zhenhua
පළ කිරීමේ කාලය: ජූලි-23-2024