گھڻا ڪيميائي عنصر ڪيميائي گروپن سان ملائي بخارات ۾ تبديل ٿي سگھن ٿا، مثال طور Si H سان رد عمل ڪري SiH4 ٺاهيندو آهي، ۽ Al CH3 سان ملائي Al(CH3) ٺاهيندو آهي. حرارتي CVD جي عمل ۾، مٿيون گيسون گرم سبسٽريٽ مان گذرڻ سان هڪ خاص مقدار ۾ حرارتي توانائي جذب ڪنديون آهن ۽ رد عمل گروپ ٺاهينديون آهن، جهڙوڪ CH3 ۽ AL(CH3)2، وغيره. پوءِ اهي هڪ ٻئي سان ملائي رد عمل گروپ ٺاهينديون آهن، جيڪي پوءِ سبسٽريٽ تي جمع ڪيا ويندا آهن. بعد ۾، اهي هڪ ٻئي سان ملائي ويندا آهن ۽ پتلي فلمن جي طور تي جمع ڪيا ويندا آهن. PECVD جي صورت ۾، پلازما ۾ اليڪٽران، توانائي وارا ذرڙا ۽ گئس-فيز ماليڪيول جو ٽڪراءُ انهن رد عمل ڪيميائي گروپن کي ٺاهڻ لاءِ گهربل چالو ڪرڻ واري توانائي فراهم ڪندو آهي.
PECVD جا فائدا بنيادي طور تي هيٺين پهلوئن ۾ آهن:
(1) روايتي ڪيميائي بخارات جي جمع جي مقابلي ۾ گهٽ عمل جي درجه حرارت، جيڪو بنيادي طور تي روايتي حرارتي چالو ٿيڻ جي بدران رد عمل واري ذرڙن جي پلازما چالو ٿيڻ جي ڪري آهي؛
(2) روايتي سي وي ڊي وانگر، فلم جي پرت جي سٺي لپيٽڻ واري پليٽنگ؛
(3) فلم جي پرت جي جوڙجڪ کي وڏي حد تائين من ماني سان ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو، جنهن سان ملٽي ليئر فلمون حاصل ڪرڻ آسان ٿي ويندو آهي؛
(4) فلم جي دٻاءُ کي هاءِ/گهٽ فريڪوئنسي ميڪنگ ٽيڪنالاجي ذريعي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: اپريل-18-2024