ڊائريڪٽ آئن بيم ڊپوزيشن آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جو هڪ قسم آهي. ڊائريڪٽ آئن بيم ڊپوزيشن هڪ غير ماس-الڳ ٿيل آئن بيم ڊپوزيشن آهي. هي ٽيڪنڪ پهريون ڀيرو 1971 ۾ هيرا جهڙي ڪاربن فلمون پيدا ڪرڻ لاءِ استعمال ڪئي وئي هئي، ان اصول جي بنياد تي ته آئن ذريعو جي ڪيٿوڊ ۽ اينوڊ جو مکيه حصو ڪاربان مان ٺهيل آهي.
سمجھدار گئس کي ڊسچارج چيمبر ۾ آندو ويندو آهي، ۽ هڪ ٻاهرين مقناطيسي ميدان شامل ڪيو ويندو آهي ته جيئن گهٽ دٻاءُ واري حالتن ۾ پلازما ڊسچارج ٿئي، ڪاربن آئن پيدا ڪرڻ لاءِ اليڪٽروڊ تي آئنن جي اسپٽرنگ اثر تي ڀروسو ڪيو ويندو آهي. پلازما ۾ ڪاربن آئن ۽ ڊينس آئن هڪ ئي وقت ڊپوزيشن چيمبر ۾ داخل ڪيا ويا، ۽ انهن کي سبسٽريٽ تي منفي تعصب جي دٻاءُ جي ڪري سبسٽريٽ تي انجيڪشن ڪرڻ لاءِ تيز ڪيو ويو.
ٽيسٽ جا نتيجا ڏيکارين ٿا ته ڪاربان آئن 50~100eV جي توانائي سانڪمروشفاف هيرن جهڙي ڪاربان فلم جي تياري تي Si، NaCI، KCI، Ni ۽ ٻين ذيلي ذخيرن ۾ گرمي پد، مزاحمت 10Q-cm تائين، اضطراري انڊيڪس تقريباً 2، غير نامياتي ۽ نامياتي تيزاب ۾ حل نه ٿيندڙ، تمام گهڻي سختي رکي ٿو.
——هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-31-2023