ويڪيوم ڪوٽنگ سامان جا جزا

ويڪيوم ڪوٽنگ جو سامان عام طور تي ڪيترن ئي اهم حصن تي مشتمل هوندو آهي، هر هڪ جو پنهنجو مخصوص ڪم هوندو آهي، جيڪو موثر، هڪجهڙائي واري فلم جمع ڪرڻ لاءِ گڏجي ڪم ڪندو آهي. هيٺ ڏنل مکيه حصن ۽ انهن جي ڪمن جي وضاحت آهي:

مکيه جزا
ويڪيوم چيمبر:
ڪم: ڪوٽنگ مواد کي بخارات يا ڦڦڙجڻ دوران هوا ۾ موجود نجاست سان رد عمل ڪرڻ کان روڪڻ لاءِ گهٽ دٻاءُ يا تيز ويڪيوم ماحول فراهم ڪري ٿو، فلم جي پاڪائي ۽ معيار کي يقيني بڻائي ٿو.
بناوت: عام طور تي اعليٰ طاقت، اسٽينلیس سٹیل يا ايلومينيم مان ٺهيل، اندروني ڊيزائن ۾ هوا جي وهڪري جي ورڇ ۽ سبسٽريٽ جي جڳهه جي آساني کي نظر ۾ رکيو ويندو آهي.
ويڪيوم پمپ سسٽم:
ڪم: گهربل ويڪيوم ليول حاصل ڪرڻ لاءِ ويڪيوم چيمبر اندر گئس کي پمپ ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.
قسم: جن ۾ ميڪيڪل پمپ (مثال طور روٽري وين پمپ)، ٽربو ماليڪيولر پمپ، ڊفيوژن پمپ ۽ آئن پمپ شامل آهن.
بخارات جو ذريعو يا ڦڦڙ جو ذريعو:
ڪم: ڪوٽنگ مواد کي گرم ڪري ٿو ۽ بخارات بڻائي ٿو ته جيئن خلا ۾ بخار يا پلازما بڻجي وڃي.
قسم: مزاحمتي حرارتي ذريعو، اليڪٽران بيم بخارات جو ذريعو، ميگنيٽرون اسپٽرنگ ذريعو ۽ ليزر بخارات جو ذريعو، وغيره شامل آهن.
سبسٽريٽ هولڊر ۽ گھمڻ وارو ميڪانيزم:
ڪم: سبسٽريٽ کي جهلي ٿو ۽ گردش يا اوسيليشن ذريعي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي ڪوٽنگ مواد جي هڪجهڙائي جمع کي يقيني بڻائي ٿو.
تعمير: عام طور تي مختلف شڪلن ۽ سائزن جي سبسٽريٽ کي ترتيب ڏيڻ لاءِ ترتيب ڏيڻ وارا ڪلمپس ۽ گھمڻ/اوسيليٽنگ ميڪانيزم شامل آهن.
بجلي جي فراهمي ۽ ڪنٽرول سسٽم:
ڪم: بخارات جي ذريعن، ڦڦڙن جي ذريعن ۽ ٻين سامان کي طاقت فراهم ڪري ٿو، ۽ مجموعي ڪوٽنگ جي عمل جي پيرا ميٽرز جهڙوڪ گرمي پد، ويڪيوم ۽ وقت کي ڪنٽرول ڪري ٿو.
اجزاء: بجلي جي فراهمي، ڪنٽرول پينل، ڪمپيوٽرائيزڊ ڪنٽرول سسٽم، ۽ نگراني سينسر شامل آهن.
گيس سپلاءِ سسٽم (اسپٽر ڪوٽنگ سامان لاءِ):
ڪم: پلازما کي برقرار رکڻ يا هڪ مخصوص پتلي فلم پيدا ڪرڻ لاءِ ڪيميائي رد عمل ۾ حصو وٺڻ لاءِ غير فعال گيسون (مثال طور، آرگن) يا رد عمل گيسون (مثال طور، آڪسيجن، نائٽروجن) فراهم ڪري ٿو.
اجزاء: گئس سلنڈر، فلو ڪنٽرولر، ۽ گئس پهچائڻ واري پائپنگ شامل آهن.
کولنگ سسٽم:
ڪم: بخارات جي ذريعن، ڦڦڙن جي ذريعن ۽ ويڪيوم چيمبر کي ٿڌو ڪري ٿو ته جيئن وڌيڪ گرم ٿيڻ کان بچي سگهجي.
قسم: پاڻي جي کولنگ سسٽم ۽ ايئر کولنگ سسٽم وغيره شامل آهن.
نگراني ۽ ڳولا جو نظام:
ڪم: ڪوٽنگ جي عمل ۾ اهم پيرا ميٽرز جي حقيقي وقت جي نگراني، جهڙوڪ فلم جي ٿلهي، جمع ٿيڻ جي شرح، ويڪيوم ۽ گرمي پد، ڪوٽنگ جي معيار کي يقيني بڻائڻ لاءِ.
قسم: ڪوارٽز ڪرسٽل مائڪرو بيلنس، آپٽيڪل ٿولهه مانيٽر ۽ بقايا گيس تجزيه نگار وغيره شامل آهن.
حفاظتي ڊوائيسز:
ڪم: تيز گرمي پد، تيز وولٽيج يا ويڪيوم ماحول جي ڪري پيدا ٿيندڙ خطرن کان آپريٽرز ۽ سامان جي حفاظت کي يقيني بڻائي ٿو.
اجزاء: گارڊ، ايمرجنسي اسٽاپ بٽڻ ۽ حفاظتي انٽر لاڪ وغيره شامل آهن.
خلاصو ڪريو.
ويڪيوم ڪوٽنگ جو سامان انهن حصن جي هم آهنگي واري ڪم ذريعي اعليٰ معيار جي پتلي فلمن کي جمع ڪرڻ جي عمل کي محسوس ڪري ٿو. اهي مشينون آپٽيڪل، اليڪٽرانڪ، آرائشي ۽ فنڪشنل پتلي فلمن جي تياري ۾ اهم ڪردار ادا ڪن ٿيون.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا