Theвакуумное напылительное оборудованиесостоит из множества точных деталей, которые изготавливаются посредством множества процессов, таких как сварка, шлифовка, точение, строгание, расточка, фрезерование и т. д. Из-за этих работ поверхность деталей оборудования неизбежно загрязняется некоторыми загрязняющими веществами, такими как смазка, масляная грязь, металлическая стружка, сварочный флюс, полировальная паста, следы пота и т. д. Эти загрязняющие вещества легко испаряются в условиях вакуума, тем самым влияя на конечный вакуум оборудования.
Кроме того, эти вакуумные загрязнители от механической обработки поглощают большое количество газа в среде атмосферного давления, а в состоянии вакуума эти ранее адсорбированные газы также будут снова выделяться, становясь основным фактором, ограничивающим предельный вакуум. По этой причине загрязнители должны быть удалены до сборки деталей вакуумной машины для нанесения покрытия.
В процессе эксплуатации вакуумного оборудования его компоненты также будут загрязнены. Однако загрязнение из этого источника в основном обусловлено условиями эксплуатации и вакуумным насосом.
1. Испарение нити вакуумметра в условиях высоких температур приведет к образованию пленки на керамическом изоляторе, что в определенной степени ухудшит его изоляционную прочность, а также окажет определенное влияние на точность его измерения;
2. В результате высокотемпературного испарения на поверхности вблизи нити накала электронной пушки в вакууме образуется металлическая пленка;
3. Вследствие распыления заготовки внутренняя стенка оборудования для ионно-лучевого травления будет загрязнена брызгами;
4. Внутренняя стенка оборудования для нанесения покрытий методом вакуумного напыления будет загрязнена материалом испаряемой мишени;
5. Часто используется система вакуумной сушки, и система будет загрязнена испаряющимися веществами;
6. Масло диффузионного насоса и масло механического насоса в вакуумном напылительном оборудовании также являются основным источником загрязнения. После длительной работы напылительной машины внутри оборудования может образоваться масляная пленка.
Подводя итог, можно сказать, что вакуумная санитария оборудования включает в себя вакуумное оборудование, вакуумную систему, производство вакуумного процесса и другие аспекты и связи, а также требования к самому вакуумному покрытию оборудования и специальный вакуумный процесс к условиям использования. Поэтому загрязнение вакуума является проблемой, заслуживающей внимания, поскольку эти загрязнения будут влиять на производительность оборудования, и следует уделять внимание регулярной или время от времени очистке.
Время публикации: 21 февр. 2023 г.