Температурный коэффициент сопротивления металлической пленки изменяется в зависимости от толщины пленки, тонкие пленки отрицательны, толстые пленки положительны, а более толстые пленки похожи, но не идентичны объемным материалам. В общем случае температурный коэффициент сопротивления изменяется с отрицательного на положительный по мере увеличения толщины пленки до десятков нанометров.
Кроме того, скорость испарения также влияет на резистивный температурный коэффициент металлических пленок. Низкая скорость испарения, полученная из-за рыхлого слоя пленки, электроны через его потенциальный барьер и способность производить проводимость слабы, в сочетании с окислением и адсорбцией, поэтому значение сопротивления высокое, температурный коэффициент сопротивления мал или даже отрицателен, с увеличением скорости испарения температурный коэффициент сопротивления малого изменяется с большого, с отрицательного на положительный. Это связано с низкой скоростью испарения пленки, полученной из-за окисления полупроводниковых свойств, температурный коэффициент сопротивления отрицательных значений. Пленки, полученные при высокой скорости испарения, как правило, имеют металлические свойства и имеют положительный температурный коэффициент сопротивления.
Поскольку структура пленки необратимо изменяется с температурой, сопротивление и температурный коэффициент сопротивления пленки также изменяются с температурой слоя покрытия во время испарения, и чем тоньше пленка, тем сильнее изменение. Это можно рассматривать как результат химических изменений, вызванных повторным испарением и перераспределением частиц приблизительно островной или трубчатой структуры пленки на подложке, а также решеточным рассеянием, примесным рассеянием, рассеянием дефектов решетки и окислением.
–Эта статья опубликованапроизводство вакуумных напылительных машинр Гуандун Чжэньхуа
Время публикации: 18 января 2024 г.