Cel/Cea/Cei/Celeechipament de acoperire în videste compus din multe piese precise, care sunt realizate prin diverse procese, cum ar fi sudarea, șlefuirea, strunjirea, rindeluirea, găurirea, frezarea și așa mai departe. Din cauza acestor lucrări, suprafața pieselor echipamentului va fi inevitabil contaminată cu anumiți poluanți, cum ar fi grăsimea, murdăria de ulei, așchiile metalice, fluxul de sudură, pasta de lustruit, urmele de transpirație și așa mai departe. Acești poluanți se volatilizează ușor în condiții de vid, afectând astfel vidul final al echipamentului.
În plus, acești poluanți din vid proveniți din prelucrarea mecanică absorb o cantitate mare de gaz în mediul de presiune atmosferică, iar în stare de vid, aceste gaze adsorbite anterior vor fi, de asemenea, eliberate din nou, devenind un factor major care limitează vidul limită. Din acest motiv, poluanții trebuie îndepărtați înainte de asamblarea pieselor mașinii de acoperire în vid.
În timpul utilizării echipamentelor de vid, componentele acestora vor fi, de asemenea, contaminate. Cu toate acestea, poluarea provenită din această sursă este cauzată în principal de condițiile de utilizare și de pompa de vid.
1. Evaporarea filamentului manometrului de vid în condiții de temperatură ridicată va duce la formarea unei pelicule pe izolatorul ceramic, ceea ce va deteriora într-o anumită măsură rezistența izolației sale și va avea, de asemenea, un anumit impact asupra preciziei măsurării sale;
2. Datorită evaporării la temperatură ridicată, se va forma o peliculă metalică pe suprafața din apropierea filamentului tunului de electroni în vid;
3. Din cauza pulverizării piesei de prelucrat, peretele interior al echipamentului de gravare cu fascicul de ioni va fi contaminat de stropi;
4. Peretele interior al echipamentului de acoperire prin evaporare în vid va fi contaminat de materialul țintă de evaporare;
5. Se utilizează adesea un sistem de uscare în vid, iar sistemul va fi contaminat de substanțele evaporate;
6. Uleiul pompei de difuzie și uleiul pompei mecanice din echipamentul de acoperire în vid sunt, de asemenea, o sursă majoră de poluare. După ce mașina de acoperire a funcționat o perioadă lungă de timp, se poate forma o peliculă de ulei în interiorul echipamentului.
Pe scurt, igienizarea echipamentelor prin vid implică echipamentul de vid, sistemul de vid, procesul de producție prin vid și alte aspecte și legături, precum și cerințele echipamentului de acoperire prin vid în sine și ale procesului special de vid în ceea ce privește condițiile de utilizare. Prin urmare, poluarea prin vid este o problemă care merită atenție, deoarece această poluare va afecta performanța echipamentului și trebuie acordată atenție curățării regulate sau în orice moment.
Data publicării: 21 februarie 2023