Echipamentul de acoperire în vid este de obicei compus din mai multe componente cheie, fiecare cu propria funcție specifică, care lucrează împreună pentru a obține o depunere eficientă și uniformă a peliculei. Mai jos este o descriere a componentelor principale și a funcțiilor acestora:
Componente principale
Cameră de vid:
Funcție: Oferă un mediu de joasă presiune sau vid ridicat pentru a preveni reacția materialului de acoperire cu impuritățile din aer în timpul evaporării sau pulverizării catodice, asigurând puritatea și calitatea peliculei.
Structură: De obicei, fabricată din oțel inoxidabil sau aluminiu de înaltă rezistență, designul intern ia în considerare distribuția fluxului de aer și ușurința plasării substratului.
Sistem de pompă de vid:
Funcție: Folosit pentru pomparea gazului din interiorul camerei de vid pentru a atinge nivelul de vid necesar.
Tipuri: Inclusiv pompe mecanice (de exemplu, pompe cu palete rotative), pompe turbomoleculare, pompe de difuzie și pompe de ioni.
Sursă de evaporare sau sursă de pulverizare catodică:
Funcție: încălzește și evaporă materialul de acoperire pentru a forma vapori sau plasmă în vid.
Tipuri: inclusiv sursă de încălzire prin rezistență, sursă de evaporare cu fascicul de electroni, sursă de pulverizare magnetronică și sursă de evaporare cu laser etc.
Suport pentru substrat și mecanism rotativ:
Funcție: Fixează substratul și asigură depunerea uniformă a materialului de acoperire pe suprafața substratului prin rotație sau oscilație.
CONSTRUCȚIE: De obicei, include cleme reglabile și mecanisme rotative/oscilante pentru a se potrivi substraturilor de diferite forme și dimensiuni.
Sistem de alimentare și control:
Funcție: Furnizează energie sursei de evaporare, sursei de pulverizare și altor echipamente și controlează parametrii procesului general de acoperire, cum ar fi temperatura, vidul și timpul.
Componente: Include surse de alimentare, panouri de control, sisteme de control computerizate și senzori de monitorizare.
Sistem de alimentare cu gaz (pentru echipamentul de pulverizare):
Funcție: Furnizează gaze inerte (de exemplu, argon) sau gaze reactive (de exemplu, oxigen, azot) pentru a menține o plasmă sau pentru a participa la o reacție chimică pentru a genera o peliculă subțire specifică.
Componente: Include butelii de gaz, regulatoare de debit și conducte de alimentare cu gaz.
Sistem de răcire:
Funcție: răcește sursa de evaporare, sursa de pulverizare și camera de vid pentru a preveni supraîncălzirea.
Tipuri: includ sisteme de răcire cu apă și sisteme de răcire cu aer etc.
Sistem de monitorizare și detectare:
Funcție: Monitorizarea în timp real a parametrilor cheie din procesul de acoperire, cum ar fi grosimea peliculei, rata de depunere, vidul și temperatura, pentru a asigura calitatea acoperirii.
Tipuri: inclusiv microbalanță cu cristale de cuarț, monitor optic de grosime și analizor de gaz rezidual etc.
Dispozitive de protecție:
Funcție: Asigură siguranța operatorilor și a echipamentelor împotriva pericolelor cauzate de temperaturi ridicate, tensiuni înalte sau medii în vid.
Componente: Include apărători, butoane de oprire de urgență și blocaje de siguranță etc.
Rezuma.
Echipamentele de acoperire în vid realizează procesul de depunere a peliculelor subțiri de înaltă calitate prin munca sinergică a acestor componente. Aceste mașini joacă un rol vital în prepararea peliculelor subțiri optice, electronice, decorative și funcționale.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 23 iulie 2024