A linha de revestimento adota uma estrutura modular, que permite aumentar a câmara de acordo com os requisitos de processo e eficiência, e possibilita o revestimento em ambos os lados, o que a torna flexível e prática. Equipada com sistema de limpeza iônica, sistema de aquecimento rápido e sistema de pulverização catódica por magnetron DC, ela deposita com eficiência revestimentos metálicos simples. O equipamento apresenta batida rápida, sistema de fixação prático e alta eficiência.
A linha de revestimento está equipada com sistema de limpeza iônica e cura em alta temperatura, o que melhora a adesão do filme depositado. A pulverização catódica em pequeno ângulo com alvo rotativo é ideal para a deposição do filme na superfície interna de pequenas aberturas.
1. O equipamento possui estrutura compacta e ocupa uma área reduzida.
2. O sistema de vácuo está equipado com bomba molecular para extração de ar, com baixo consumo de energia.
3. O retorno automático do rack de materiais economiza mão de obra.
4. Os parâmetros do processo podem ser rastreados e o processo de produção pode ser monitorado em sua totalidade para facilitar o rastreamento de defeitos de produção.
5. A linha de revestimento possui um alto grau de automação. Ela pode ser utilizada com o manipulador para conectar os processos frontal e traseiro, reduzindo os custos de mão de obra.
Pode substituir a impressão com pasta de prata no processo de fabricação de capacitores, com maior eficiência e menor custo.
É aplicável a Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn e outros metais simples. Tem sido amplamente utilizado em componentes eletrônicos semicondutores, como substratos cerâmicos, capacitores cerâmicos, suportes cerâmicos para LEDs, etc.