DESCRIÇÃO DO PRODUTO

Vantagem do equipamento

1. Otimização de revestimento de furos profundos

Tecnologia exclusiva de revestimento de furos profundos: a tecnologia de revestimento de furos profundos desenvolvida pela Zhenhua Vacuum pode atingir uma proporção de aspecto superior de 10:1, mesmo para aberturas minúsculas de 30 micrômetros, superando os desafios de revestimento de estruturas complexas de furos profundos.

2. Personalizável, suporta diferentes tamanhos

Suporta substratos de vidro de vários tamanhos, incluindo 600×600 mm / 510×515 mm ou especificações maiores.

3. Flexibilidade de processo, compatível com vários materiais

O equipamento é compatível com materiais de filme fino condutores ou funcionais, como Cu, Ti, W, Ni e Pt, atendendo a diferentes necessidades de aplicação para condutividade e resistência à corrosão.

4. Desempenho estável do equipamento, fácil manutenção

O equipamento é equipado com um sistema de controle inteligente que permite o ajuste automático de parâmetros e o monitoramento em tempo real da uniformidade da espessura do filme; adota um design modular para fácil manutenção, reduzindo o tempo de inatividade.

Aplicativo:Pode ser usado para embalagens avançadas TGV/TSV/TMV, capaz de atingir revestimento de camada de sementes de furo profundo com uma proporção de aspecto ≥10:1.