Oequipamento de revestimento a vácuoÉ composto por diversas peças precisas, fabricadas por meio de diversos processos, como soldagem, retificação, torneamento, aplainamento, mandrilamento, fresamento, etc. Devido a esses processos, a superfície das peças do equipamento inevitavelmente será contaminada com alguns poluentes, como graxa, óleo, sujeira, cavacos de metal, fluxo de solda, pasta de polimento, marcas de suor, etc. Esses poluentes são facilmente volatilizados em condições de vácuo, afetando assim o vácuo final do equipamento.
Além disso, esses poluentes de vácuo provenientes do processamento mecânico absorvem uma grande quantidade de gás no ambiente de pressão atmosférica e, no estado de vácuo, esses gases previamente adsorvidos também serão liberados novamente, tornando-se um fator importante na limitação do vácuo limite. Por esse motivo, os poluentes devem ser removidos antes da montagem das peças da máquina de revestimento a vácuo.
Durante o uso de equipamentos de vácuo, seus componentes também serão contaminados. No entanto, a poluição dessa fonte é causada principalmente pelas condições de uso e pela bomba de vácuo.
1. A evaporação do filamento do medidor de vácuo em condições de alta temperatura levará à formação de uma película no isolador cerâmico, o que danificará sua resistência de isolamento até certo ponto e também terá um certo impacto na precisão de sua medição;
2. Devido à evaporação em alta temperatura, uma película metálica será formada na superfície próxima ao filamento do canhão de elétrons no vácuo;
3. Devido à pulverização catódica da peça de trabalho, a parede interna do equipamento de gravação por feixe de íons será contaminada por respingos;
4. A parede interna do equipamento de revestimento por evaporação a vácuo será contaminada pelo material alvo de evaporação;
5. O sistema de secagem a vácuo é frequentemente usado, e o sistema será contaminado pelas substâncias evaporadas;
6. O óleo da bomba de difusão e o óleo da bomba mecânica no equipamento de revestimento a vácuo também são uma grande fonte de poluição. Após a máquina de revestimento funcionar por um longo período, pode ocorrer a formação de uma película de óleo dentro do equipamento.
Em resumo, a higienização a vácuo de equipamentos envolve equipamentos de vácuo, sistemas de vácuo, processos de produção a vácuo e outros aspectos e conexões, bem como os requisitos do próprio equipamento de revestimento a vácuo e do processo de vácuo específico, dependendo das condições de uso. Portanto, a poluição por vácuo é um problema que merece atenção, pois afeta o desempenho do equipamento, e deve-se atentar para a limpeza regular ou periódica.
Data de publicação: 21 de fevereiro de 2023