O equipamento de revestimento a vácuo é normalmente composto por vários componentes principais, cada um com sua função específica, que trabalham em conjunto para proporcionar uma deposição de filme eficiente e uniforme. Abaixo, uma descrição dos principais componentes e suas funções:
Componentes Principais
Câmara de vácuo:
Função: Fornece um ambiente de baixa pressão ou alto vácuo para evitar que o material de revestimento reaja com impurezas do ar durante a evaporação ou pulverização catódica, garantindo a pureza e a qualidade do filme.
Estrutura: Geralmente feita de aço inoxidável ou alumínio de alta resistência, o design interno leva em consideração a distribuição do fluxo de ar e a facilidade de posicionamento do substrato.
Sistema de bomba de vácuo:
Função: Usado para bombear o gás para fora da câmara de vácuo para atingir o nível de vácuo necessário.
Tipos: Incluindo bombas mecânicas (por exemplo, bombas de palhetas rotativas), bombas turbomoleculares, bombas de difusão e bombas iônicas.
Fonte de evaporação ou fonte de pulverização catódica:
Função: aquece e evapora o material de revestimento para formar vapor ou plasma no vácuo.
Tipos: incluindo fonte de aquecimento por resistência, fonte de evaporação por feixe de elétrons, fonte de pulverização catódica por magnetron e fonte de evaporação a laser, etc.
Suporte de substrato e mecanismo de rotação:
Função: Segura o substrato e garante a deposição uniforme do material de revestimento na superfície do substrato por rotação ou oscilação.
CONSTRUÇÃO: Normalmente inclui grampos ajustáveis e mecanismos rotativos/oscilantes para acomodar substratos de diferentes formatos e tamanhos.
Sistema de alimentação e controle:
Função: Fornece energia para a fonte de evaporação, fonte de pulverização catódica e outros equipamentos, e controla parâmetros do processo geral de revestimento, como temperatura, vácuo e tempo.
Componentes: Inclui fontes de alimentação, painéis de controle, sistemas de controle computadorizados e sensores de monitoramento.
Sistema de fornecimento de gás (para equipamentos de revestimento por pulverização catódica):
Função: Fornece gases inertes (por exemplo, argônio) ou gases reativos (por exemplo, oxigênio, nitrogênio) para manter um plasma ou participar de uma reação química para gerar uma película fina específica.
Componentes: Inclui cilindros de gás, controladores de fluxo e tubulação de fornecimento de gás.
Sistema de refrigeração:
Função: resfria a fonte de evaporação, a fonte de pulverização catódica e a câmara de vácuo para evitar superaquecimento.
Tipos: incluem sistemas de resfriamento de água e sistemas de resfriamento de ar, etc.
Sistema de monitoramento e detecção:
Função: Monitoramento em tempo real dos principais parâmetros do processo de revestimento, como espessura do filme, taxa de deposição, vácuo e temperatura, para garantir a qualidade do revestimento.
Tipos: incluindo microbalança de cristal de quartzo, monitor óptico de espessura e analisador de gás residual, etc.
Dispositivos de proteção:
Função: Garante a segurança dos operadores e equipamentos contra perigos causados por altas temperaturas, altas tensões ou ambientes de vácuo.
Componentes: Inclui proteções, botões de parada de emergência e travas de segurança, etc.
Resumir.
Equipamentos de revestimento a vácuo realizam o processo de deposição de filmes finos de alta qualidade por meio do trabalho sinérgico desses componentes. Essas máquinas desempenham um papel vital na preparação de filmes finos ópticos, eletrônicos, decorativos e funcionais.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Horário da publicação: 23 de julho de 2024