ډیری کیمیاوي عناصر د کیمیاوي ډلو سره یوځای کولو سره بخار کیدی شي، د بیلګې په توګه Si د H سره تعامل کوي ترڅو SiH4 جوړ کړي، او Al د CH3 سره یوځای کیږي ترڅو Al(CH3) جوړ کړي. د تودوخې CVD پروسې کې، پورته ګازونه د تودوخې سبسټریټ څخه تیریدو سره د تودوخې انرژي یو ټاکلی مقدار جذبوي او د تعامل ګروپونه جوړوي، لکه CH3 او AL(CH3)2، او نور. دوی بیا یو بل سره یوځای کیږي ترڅو تعامل ګروپونه جوړ کړي، کوم چې بیا په سبسټریټ کې زیرمه کیږي. وروسته، دوی یو بل سره یوځای کیږي او د پتلو فلمونو په توګه زیرمه کیږي. د PECVD په حالت کې، په پلازما کې د الکترونونو، انرژي لرونکو ذراتو او ګاز فیز مالیکولونو ټکر د دې تعامل کیمیاوي ګروپونو جوړولو لپاره اړین فعالولو انرژي چمتو کوي.
د PECVD ګټې په عمده توګه په لاندې اړخونو کې دي:
(۱) د دودیز کیمیاوي بخاراتو د زیرمو په پرتله د پروسې ټیټه تودوخه، کوم چې په عمده توګه د دودیز تودوخې فعالولو پرځای د تعامل کونکي ذراتو د پلازما فعالولو له امله دی؛
(۲) د دودیز CVD په څیر، د فلم طبقې ښه پوښل شوی پلیټینګ؛
(۳) د فلم طبقې جوړښت په لویه کچه په خپل سر کنټرول کیدی شي، چې د څو طبقو فلمونو ترلاسه کول اسانه کوي؛
(۴) د فلم فشار د لوړ/ټیټ فریکونسۍ مخلوط ټیکنالوژۍ لخوا کنټرول کیدی شي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: اپریل-۱۸-۲۰۲۴