د فلزي فلم د مقاومت د تودوخې ضخامت د فلم د ضخامت سره توپیر لري، پتلي فلمونه منفي دي، غټ فلمونه مثبت دي، او غټ فلمونه ورته دي مګر د بلک موادو سره ورته ندي. په عموم کې، د مقاومت د تودوخې ضخامت د منفي څخه مثبت ته بدلیږي ځکه چې د فلم ضخامت لسګونو نانومیټرو ته لوړیږي.
سربیره پردې، د تبخیر کچه د فلزي فلمونو د مقاومتي تودوخې ضخامت هم اغیزه کوي. د فلم طبقې لخوا چمتو شوی ټیټ تبخیر کچه نرمه ده، د هغې د احتمالي خنډ په اوږدو کې الکترونونه او د چالکتیا تولید وړتیا کمزورې ده، د اکسیډیشن او جذب سره یوځای، نو د مقاومت ارزښت لوړ دی، د مقاومت د تودوخې ضخامت کوچنی دی، یا حتی منفي دی، د تبخیر کچه کې زیاتوالي سره، د مقاومت د تودوخې ضخامت د لوی څخه کوچني بدلون، منفي څخه مثبت ته. دا د فلم د ټیټ تبخیر نرخ له امله دی چې د سیمیکمډکټر ملکیتونو د اکسیډیشن له امله چمتو شوی، د منفي ارزښتونو د مقاومت د تودوخې ضخامت. هغه فلمونه چې د لوړ تبخیر نرخ کې چمتو شوي دي د فلزي ملکیتونه لري او د مقاومت مثبت تودوخې ضخامت لري.
څرنګه چې د فلم جوړښت د تودوخې سره په نه بدلیدونکي ډول بدلیږي، د فلم مقاومت او د مقاومت د تودوخې ضخامت هم د تبخیر په جریان کې د کوټینګ طبقې د تودوخې سره بدلیږي، او فلم څومره چې پتلی وي، هومره بدلون ډیر سخت وي. دا د کیمیاوي بدلونونو په پایله کې فکر کیدی شي چې د سبسټریټ په اړه د نږدې ټاپو یا ټیوبلر جوړښت فلم د ذراتو د بیا تبخیر او بیا ویش له امله رامینځته کیږي، او همدارنګه د جالیو توزیع، ناپاکۍ توزیع، د جالیو نیمګړتیاو توزیع، او اکسیډیشن.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړولr ګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: جنوري-۱۸-۲۰۲۴