د ویکیوم کوټینګ تجهیزات معمولا د څو مهمو برخو څخه جوړ شوي وي، هر یو یې خپل ځانګړی فعالیت لري، چې د مؤثره، یونیفورم فلم زیرمه کولو لپاره په ګډه کار کوي. لاندې د اصلي برخو او د هغوی دندو توضیحات دي:
اصلي برخې
د ویکیوم چیمبر:
دنده: د ټیټ فشار یا لوړ خلا چاپیریال چمتو کوي ترڅو د کوټینګ مواد د تبخیر یا توییدو پرمهال د هوا له لارې د ناپاکۍ سره د عکس العمل مخه ونیسي، د فلم پاکوالی او کیفیت ډاډمن کړي.
جوړښت: معمولا د لوړ ځواک، سټینلیس سټیل یا المونیم څخه جوړ شوی، داخلي ډیزاین د هوا جریان ویش او د سبسټریټ ځای پرځای کولو اسانتیا په پام کې نیسي.
د ویکیوم پمپ سیسټم:
دنده: د ویکیوم چیمبر دننه د ګاز پمپ کولو لپاره کارول کیږي ترڅو د اړتیا وړ ویکیوم کچه ترلاسه کړي.
ډولونه: په شمول د میخانیکي پمپونو (د بیلګې په توګه روټري وین پمپونه)، د ټربو مالیکولر پمپونه، د خپریدو پمپونه او ایون پمپونه.
د تبخیر سرچینه یا د توییدو سرچینه:
دنده: د پوښ مواد ګرموي او تبخیر کوي ترڅو په خلا کې بخار یا پلازما جوړ کړي.
ډولونه: د مقاومت تودوخې سرچینه، د الکترون بیم تبخیر سرچینه، د مقناطیسي سپټرینګ سرچینه او د لیزر تبخیر سرچینه، او نور شامل دي.
د سبسټریټ هولډر او څرخیدونکی میکانیزم:
دنده: سبسټریټ ساتي او د سبسټریټ په سطحه د څرخیدو یا څرخیدو له لارې د کوټینګ موادو یوشان جمع کول ډاډمن کوي.
ساختمان: معمولا د تنظیم وړ کلیمپونه او څرخیدونکي/څرخیدونکي میکانیزمونه شامل دي ترڅو د مختلفو شکلونو او اندازو سبسټریټونه ځای په ځای کړي.
د بریښنا رسولو او کنټرول سیسټم:
دنده: د تبخیر سرچینې، د تودوخې سرچینې او نورو تجهیزاتو ته بریښنا چمتو کوي، او د ټول پوښښ پروسې پیرامیټرونه کنټرولوي لکه تودوخه، خلا او وخت.
اجزا: د بریښنا رسولو، کنټرول پینلونو، کمپیوټري کنټرول سیسټمونو، او څارنې سینسرونو شامل دي.
د ګاز رسولو سیسټم (د سپټر کوټینګ تجهیزاتو لپاره):
دنده: د پلازما ساتلو یا د کیمیاوي تعامل کې د ګډون لپاره د یو ځانګړي پتلي پرت د تولید لپاره غیر فعال ګازونه (د بیلګې په توګه، ارګون) یا تعامل کونکي ګازونه (د بیلګې په توګه، اکسیجن، نایتروجن) چمتو کوي.
اجزا: د ګاز سلنډرونه، د جریان کنټرولرونه، او د ګاز رسولو پایپونه شامل دي.
د یخولو سیسټم:
دنده: د تبخیر سرچینه، د تودوخې سرچینه او د ویکیوم چیمبر سړه کوي ترڅو د ډیر تودوخې مخه ونیسي.
ډولونه: د اوبو د یخولو سیسټمونه او د هوا د یخولو سیسټمونه او نور شامل دي.
د څارنې او کشف سیسټم:
دنده: د کوټینګ په پروسه کې د مهمو پیرامیټرو ریښتیني وخت څارنه، لکه د فلم ضخامت، د جمع کولو کچه، خلا او تودوخه، ترڅو د کوټینګ کیفیت ډاډمن شي.
ډولونه: په شمول د کوارټز کرسټال مایکرو بیلانس، د نظری ضخامت مانیټر او د پاتې ګاز تحلیل کونکی، او نور.
محافظتي وسایل:
دنده: د لوړې تودوخې، لوړ ولتاژ یا خلا چاپیریال له امله رامینځته شوي خطرونو څخه د آپریټرانو او تجهیزاتو خوندیتوب ډاډمن کوي.
اجزا: ساتونکي، د بیړني تمځای تڼۍ او د خوندیتوب انټرلاکونه، او نور شامل دي.
لنډیز.
د ویکیوم کوټینګ تجهیزات د دې اجزاو د همغږۍ کار له لارې د لوړ کیفیت لرونکي پتلي فلمونو د زیرمه کولو پروسه درک کوي. دا ماشینونه د نظري، بریښنایی، آرائشی او فعال پتلي فلمونو په چمتو کولو کې مهم رول لوبوي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: جولای-۲۳-۲۰۲۴