Jakie są źródła zanieczyszczeń w sprzęcie do powlekania próżniowego

TenSprzęt do powlekania próżniowegoskłada się z wielu precyzyjnych części, które powstają w wyniku wielu procesów, takich jak spawanie, szlifowanie, toczenie, struganie, rozwiercanie, frezowanie itd. Z powodu tych prac powierzchnia części sprzętu nieuchronnie zostanie zanieczyszczona niektórymi zanieczyszczeniami, takimi jak smar, brud olejowy, wióry metalowe, topnik spawalniczy, pasta polerska, ślady potu itd. Te zanieczyszczenia łatwo ulatniają się w warunkach próżni, wpływając w ten sposób na ostateczną próżnię sprzętu.

Ponadto te zanieczyszczenia próżniowe z obróbki mechanicznej pochłaniają dużą ilość gazu w środowisku ciśnienia atmosferycznego, a w stanie próżni te wcześniej zaadsorbowane gazy zostaną ponownie uwolnione, stając się głównym czynnikiem ograniczającym próżnię graniczną. Z tego powodu zanieczyszczenia muszą zostać usunięte przed złożeniem części maszyny do powlekania próżniowego.

Podczas użytkowania sprzętu próżniowego jego komponenty również zostaną zanieczyszczone. Jednak zanieczyszczenie z tego źródła jest spowodowane głównie przez warunki użytkowania i pompę próżniową.

1. Parowanie włókna wskaźnika próżni w warunkach wysokiej temperatury prowadzi do utworzenia się filmu na izolatorze ceramicznym, co w pewnym stopniu osłabia wytrzymałość izolacji, a także ma pewien wpływ na dokładność pomiaru;

2. W wyniku parowania w wysokiej temperaturze na powierzchni, w pobliżu włókna działa elektronowego w próżni, utworzy się warstwa metalu;

3. Z powodu rozpylania przedmiotu obrabianego, wewnętrzna ściana urządzenia do trawienia wiązką jonów będzie zanieczyszczona odpryskami;

4. Wewnętrzna ściana urządzenia do powlekania metodą parowania próżniowego będzie zanieczyszczona materiałem docelowym parowania;

5. Często stosuje się system suszenia próżniowego, jednak system może zostać zanieczyszczony przez odparowywane substancje;

6. Olej pompy dyfuzyjnej i olej pompy mechanicznej w sprzęcie do powlekania próżniowego są również głównym źródłem zanieczyszczeń. Po długim czasie pracy maszyny do powlekania wewnątrz sprzętu może utworzyć się film olejowy.

Podsumowując, sanitacja próżniowa sprzętu obejmuje sprzęt próżniowy, system próżniowy, produkcję procesu próżniowego i inne aspekty i powiązania, a także wymagania samego sprzętu do powlekania próżniowego i specjalnego procesu próżniowego w warunkach użytkowania. Dlatego zanieczyszczenie próżniowe jest problemem godnym uwagi, ponieważ te zanieczyszczenia wpłyną na wydajność sprzętu, a uwagę należy zwrócić na regularne lub w dowolnym momencie czyszczenie.