Sprzęt do powlekania próżniowego składa się zazwyczaj z kilku kluczowych komponentów, z których każdy ma swoją własną określoną funkcję, które działają wspólnie, aby osiągnąć wydajne, równomierne osadzanie filmu. Poniżej znajduje się opis głównych komponentów i ich funkcji:
Główne składniki
Komora próżniowa:
Funkcja: Zapewnia środowisko niskiego ciśnienia lub wysokiej próżni, aby zapobiec reakcji materiału powłoki z zanieczyszczeniami unoszącymi się w powietrzu podczas odparowywania lub rozpylania, co gwarantuje czystość i jakość powłoki.
Konstrukcja: Zazwyczaj wykonana z wytrzymałej stali nierdzewnej lub aluminium. Wewnętrzna konstrukcja uwzględnia dystrybucję przepływu powietrza i łatwość umieszczania podłoża.
Układ pompy próżniowej:
Funkcja: Służy do wypompowywania gazu z komory próżniowej w celu uzyskania wymaganego poziomu próżni.
Rodzaje: obejmują pompy mechaniczne (np. pompy łopatkowe), pompy turbomolekularne, pompy dyfuzyjne i pompy jonowe.
Źródło parowania lub źródło rozpylania:
Funkcja: podgrzewa i odparowuje materiał powłoki, tworząc parę lub plazmę w próżni.
Typy: w tym źródło ogrzewania rezystancyjnego, źródło odparowywania wiązką elektronów, źródło rozpylania magnetronowego i źródło odparowywania laserowego itp.
Uchwyt podłoża i mechanizm obrotowy:
Funkcja: Przytrzymuje podłoże i zapewnia równomierne osadzanie materiału powłokowego na powierzchni podłoża poprzez obrót lub oscylację.
KONSTRUKCJA: Zazwyczaj obejmuje regulowane zaciski i mechanizmy obrotowe/oscylacyjne, umożliwiające dopasowanie do podłoży o różnych kształtach i rozmiarach.
Układ zasilania i sterowania:
Funkcja: Zapewnia zasilanie źródła parowania, źródła rozpylania i innego sprzętu oraz kontroluje parametry całego procesu powlekania, takie jak temperatura, próżnia i czas.
Komponenty: Obejmuje zasilacze, panele sterowania, komputerowe systemy sterowania i czujniki monitorujące.
Układ zasilania gazem (dla urządzeń do powlekania natryskowego):
Funkcja: Dostarcza gazy obojętne (np. argon) lub gazy reaktywne (np. tlen, azot) w celu utrzymania plazmy lub uczestniczenia w reakcji chemicznej w celu wytworzenia określonej cienkiej warstwy.
Komponenty: Obejmuje butle gazowe, regulatory przepływu i rury doprowadzające gaz.
Układ chłodzenia:
Funkcja: chłodzi źródło parowania, źródło rozpylania i komorę próżniową, zapobiegając przegrzaniu.
Rodzaje: obejmują systemy chłodzenia wodnego i powietrznego itp.
System monitoringu i detekcji:
Funkcja: Monitorowanie w czasie rzeczywistym kluczowych parametrów procesu powlekania, takich jak grubość powłoki, szybkość osadzania, próżnia i temperatura, w celu zapewnienia jakości powłoki.
Typy: w tym mikrowaga kwarcowa, optyczny monitor grubości i analizator gazu resztkowego itp.
Urządzenia ochronne:
Funkcja: Zapewnia bezpieczeństwo operatorów i sprzętu przed zagrożeniami powodowanymi przez wysokie temperatury, wysokie napięcia lub środowiska próżniowe.
Elementy składowe: Obejmuje osłony, przyciski zatrzymania awaryjnego, blokady bezpieczeństwa itp.
Streszczać.
Sprzęt do powlekania próżniowego realizuje proces osadzania wysokiej jakości cienkich warstw poprzez synergistyczną pracę tych komponentów. Maszyny te odgrywają kluczową rolę w przygotowywaniu cienkich warstw optycznych, elektronicznych, dekoracyjnych i funkcjonalnych.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 23-07-2024