ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਰਸਾਇਣਕ ਤੱਤਾਂ ਨੂੰ ਰਸਾਇਣਕ ਸਮੂਹਾਂ ਨਾਲ ਜੋੜ ਕੇ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ Si H ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਕੇ SiH4 ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ Al CH3 ਨਾਲ ਮਿਲ ਕੇ Al(CH3) ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਥਰਮਲ CVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਉਪਰੋਕਤ ਗੈਸਾਂ ਗਰਮ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿੱਚੋਂ ਲੰਘਦੇ ਸਮੇਂ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਥਰਮਲ ਊਰਜਾ ਨੂੰ ਸੋਖ ਲੈਂਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਮੂਹ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ CH3 ਅਤੇ AL(CH3)2, ਆਦਿ। ਫਿਰ ਉਹ ਇੱਕ ਦੂਜੇ ਨਾਲ ਮਿਲ ਕੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਮੂਹ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜੋ ਫਿਰ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਬਾਅਦ ਵਿੱਚ, ਉਹ ਇੱਕ ਦੂਜੇ ਨਾਲ ਮਿਲ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। PECVD ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ, ਊਰਜਾਵਾਨ ਕਣਾਂ ਅਤੇ ਗੈਸ-ਪੜਾਅ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਦਾ ਟਕਰਾਅ ਇਹਨਾਂ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਰਸਾਇਣਕ ਸਮੂਹਾਂ ਨੂੰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੀ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲਤਾ ਊਰਜਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
PECVD ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਪਹਿਲੂਆਂ ਵਿੱਚ ਹਨ:
(1) ਰਵਾਇਤੀ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਘੱਟ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ, ਜੋ ਕਿ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਰਵਾਇਤੀ ਹੀਟਿੰਗ ਐਕਟੀਵੇਸ਼ਨ ਦੀ ਬਜਾਏ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਣਾਂ ਦੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਕਟੀਵੇਸ਼ਨ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ;
(2) ਰਵਾਇਤੀ CVD ਵਾਂਗ ਹੀ, ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੀ ਚੰਗੀ ਲਪੇਟ-ਅਰਾਊਂਡ ਪਲੇਟਿੰਗ;
(3) ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੀ ਬਣਤਰ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਹੱਦ ਤੱਕ ਮਨਮਾਨੇ ਢੰਗ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਮਲਟੀਲੇਅਰ ਫਿਲਮਾਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ ਆਸਾਨ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ;
(4) ਫਿਲਮ ਤਣਾਅ ਨੂੰ ਉੱਚ/ਘੱਟ ਆਵਿਰਤੀ ਮਿਕਸਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਅਪ੍ਰੈਲ-18-2024