Direct ion beam deposition ndi mtundu wa ion mtengo wothandizira kuyika. Kuyika kwa mtengo wa ion kwachindunji ndikuyika kwa mtengo wa ion wosagwirizana ndi misa. Njirayi idagwiritsidwa ntchito koyamba kupanga mafilimu a kaboni ngati diamondi mu 1971, potengera mfundo yakuti gawo lalikulu la cathode ndi anode ya gwero la ion limapangidwa ndi kaboni.
Mpweya womveka umalowetsedwa m'chipinda chotulutsira, ndipo mphamvu ya maginito yakunja imawonjezeredwa kuti ipangitse kutuluka kwa plasma pansi pa zovuta zochepa, kudalira mphamvu ya sputtering ya ma ion pa ma electrode kuti apange carbon ions. Ma kaboni ndi ayoni wandiweyani mu plasma adalowetsedwa m'chipinda choyikamo nthawi yomweyo, ndipo adafulumizitsidwa kuti abayidwe pagawolo chifukwa cha kukakamizidwa koyipa kwa gawo lapansi.
Zotsatira zoyeserera zikuwonetsa kuti ma ayoni a kaboni okhala ndi mphamvu ya 50 ~ 100eV pachipindakutentha, mu Si, NaCI, KCI, Ni ndi magawo ena pa yokonza mandala diamondi ngati mpweya filimu, resistivity mpaka 10Q-masentimita, refractive index pafupifupi 2, insoluble mu inorganic ndi organic zidulo, ndi kuuma kwambiri.
——Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina opangira vacuumGuangdong Zhenhua
Nthawi yotumiza: Aug-31-2023