Devakuumbeleggsutstyrbestår av mange presise deler, som er laget gjennom mange prosesser, som sveising, sliping, dreiing, høvling, boring, fresing og så videre. På grunn av dette arbeidet vil overflaten på utstyrsdelene uunngåelig bli forurenset med forurensende stoffer som fett, olje, smuss, metallspon, sveiseflussmiddel, poleringspasta, svettemerker og så videre. Disse forurensende stoffene fordamper lett under vakuumforhold, noe som påvirker utstyrets endelige vakuum.
I tillegg absorberer disse vakuumforurensningene fra mekanisk prosessering en stor mengde gass i miljøet med atmosfærisk trykk, og i vakuumtilstanden vil disse tidligere adsorberte gassene også bli frigjort igjen, noe som blir en viktig faktor som begrenser grensevakuumet. Av denne grunn må forurensningene fjernes før delene av vakuumbeleggmaskinen monteres.
Under bruk av vakuumutstyr vil også komponentene bli forurenset. Forurensningen fra denne kilden er imidlertid hovedsakelig forårsaket av bruksforholdene og vakuumpumpen.
1. Fordampning av glødetråden i vakuummåleren under høye temperaturforhold vil føre til dannelse av en film på den keramiske isolatoren, noe som vil skade isolasjonsstyrken til en viss grad, og også ha en viss innvirkning på målenøyaktigheten;
2. På grunn av fordampning ved høy temperatur vil det dannes en metallfilm på overflaten nær glødetråden til elektronkanonen i vakuum;
3. På grunn av arbeidsstykkesputtering vil innerveggen til ionstråleetseutstyret bli forurenset av sprut;
4. Den indre veggen til vakuumfordampningsbeleggutstyret vil bli forurenset av fordampningsmålmaterialet;
5. Vakuumtørkingssystem brukes ofte, og systemet vil bli forurenset av de fordampede stoffene;
6. Diffusjonspumpeoljen og den mekaniske pumpeoljen i vakuumbeleggsutstyret er også en stor kilde til forurensning. Etter at beleggsmaskinen har vært i drift i lang tid, kan det dannes en oljefilm inne i utstyret.
Oppsummert innebærer vakuumsanering av utstyr vakuumutstyr, vakuumsystem, vakuumprosessproduksjon og andre aspekter og koblinger, samt kravene til selve vakuumbeleggutstyret og spesielle vakuumprosesser under bruksforholdene. Derfor er vakuumforurensning et problem som fortjener oppmerksomhet, fordi denne forurensningen vil påvirke utstyrets ytelse, og det bør vies oppmerksomhet til regelmessig eller til enhver tid rengjøring.
Publisert: 21. feb. 2023