Temperaturkoeffisienten for motstanden i metallfilmen varierer med filmtykkelsen. Tynne filmer er negative, tykke filmer er positive, og tykkere filmer er like, men ikke identiske med bulkmaterialer. Generelt sett endres temperaturkoeffisienten for motstanden fra negativ til positiv når filmtykkelsen øker til titalls nanometer.
I tillegg påvirker fordampningshastigheten også den resistive temperaturkoeffisienten til metallfilmen. Filmlaget har en lav fordampningshastighet, elektronene krysser potensialbarrieren og har svak evne til å produsere konduktivitet. Dette kombineres med oksidasjon og adsorpsjon. Derfor er motstandsverdien høy og motstandstemperaturkoeffisienten liten eller til og med negativ. Med økningen i fordampningshastigheten endres motstandstemperaturkoeffisienten fra liten til stor, fra negativ til positiv. Dette skyldes den lave fordampningshastigheten til filmen på grunn av oksidasjonens halvlederegenskaper, og motstandstemperaturkoeffisienten har negative verdier. Filmer fremstilt med høy fordampningshastighet har en tendens til å ha metalliske egenskaper og en positiv motstandstemperaturkoeffisient.
Siden filmens struktur endres irreversibelt med temperaturen, endres også filmens motstand og motstandstemperaturkoeffisient med temperaturen i belegglaget under fordampning, og jo tynnere filmen er, desto mer drastisk blir endringen. Dette kan tenkes på som et resultat av de kjemiske endringene forårsaket av refordampning og omfordeling av partikler i den omtrentlige øy- eller rørformede strukturfilmen på substratet, samt gitterspredning, urenhetsspredning, spredning av gitterdefekter og oksidasjon.
– Denne artikkelen er publisert avproduksjon av vakuumbeleggsmaskinerr Guangdong Zhenhua
Publisert: 18. januar 2024