Vakuumbeleggsutstyr består vanligvis av flere nøkkelkomponenter, hver med sin egen spesifikke funksjon, som samarbeider for å oppnå effektiv og jevn filmavsetning. Nedenfor er en beskrivelse av hovedkomponentene og deres funksjoner:
Hovedkomponenter
Vakuumkammer:
Funksjon: Gir et lavtrykks- eller høyvakuummiljø for å forhindre at beleggmaterialet reagerer med luftbårne urenheter under fordampning eller sputtering, noe som sikrer filmens renhet og kvalitet.
Struktur: Vanligvis laget av høyfast rustfritt stål eller aluminium, tar den interne utformingen hensyn til luftstrømfordeling og enkel plassering av underlaget.
Vakuumpumpesystem:
Funksjon: Brukes til å pumpe ut gassen inne i vakuumkammeret for å oppnå ønsket vakuumnivå.
Typer: Inkludert mekaniske pumper (f.eks. roterende lamellpumper), turbomolekylære pumper, diffusjonspumper og ionepumper.
Fordampningskilde eller sputteringskilde:
Funksjon: varmer opp og fordamper beleggmaterialet for å danne damp eller plasma i vakuum.
Typer: inkludert motstandsoppvarmingskilde, elektronstrålefordampningskilde, magnetronsputteringskilde og laserfordampningskilde, etc.
Substratholder og roterende mekanisme:
Funksjon: Holder underlaget og sikrer jevn avsetning av beleggmaterialet på underlagets overflate ved rotasjon eller oscillasjon.
KONSTRUKSJON: Inkluderer vanligvis justerbare klemmer og roterende/oscillerende mekanismer for å tilpasse seg underlag i forskjellige former og størrelser.
Strømforsyning og kontrollsystem:
Funksjon: Gir strøm til fordampningskilden, sputteringkilden og annet utstyr, og kontrollerer parametere for den totale belegningsprosessen, som temperatur, vakuum og tid.
Komponenter: Inkluderer strømforsyninger, kontrollpaneler, datastyrte kontrollsystemer og overvåkingssensorer.
Gassforsyningssystem (for sputterbeleggutstyr):
Funksjon: Forsyner inerte gasser (f.eks. argon) eller reaktive gasser (f.eks. oksygen, nitrogen) for å opprettholde et plasma eller for å delta i en kjemisk reaksjon for å generere en spesifikk tynn film.
Komponenter: Inkluderer gassflasker, strømningsregulatorer og gassleveringsrør.
Kjølesystem:
Funksjon: kjøler ned fordampningskilden, sputteringkilden og vakuumkammeret for å forhindre overoppheting.
Typer: inkluderer vannkjølesystemer og luftkjølesystemer, etc.
Overvåkings- og deteksjonssystem:
Funksjon: Sanntidsovervåking av viktige parametere i belegningsprosessen, som filmtykkelse, avsetningshastighet, vakuum og temperatur, for å sikre beleggkvalitet.
Typer: inkludert kvartskrystallmikrovekt, optisk tykkelsesmåler og restgassanalysator, etc.
Beskyttelsesutstyr:
Funksjon: Sikrer operatørers og utstyrs sikkerhet mot farer forårsaket av høye temperaturer, høye spenninger eller vakuummiljøer.
Komponenter: Inkluderer vern, nødstoppknapper og sikkerhetslåser, etc.
Oppsummer.
Vakuumbeleggsutstyr realiserer prosessen med å avsette tynne filmer av høy kvalitet gjennom det synergistiske arbeidet til disse komponentene. Disse maskinene spiller en viktig rolle i fremstillingen av optiske, elektroniske, dekorative og funksjonelle tynne filmer.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 23. juli 2024