Devacuümcoatingapparatuurbestaat uit vele precieze onderdelen, die via diverse processen worden vervaardigd, zoals lassen, slijpen, draaien, schaven, boren, frezen, enzovoort. Door deze bewerkingen raakt het oppervlak van apparatuuronderdelen onvermijdelijk verontreinigd met bepaalde verontreinigende stoffen zoals vet, olie, metaalspanen, laspoeder, polijstpasta, zweetvlekken, enzovoort. Deze verontreinigende stoffen verdampen gemakkelijk onder vacuümomstandigheden, waardoor het uiteindelijke vacuüm van de apparatuur wordt aangetast.
Bovendien absorberen deze vacuümverontreinigingen uit mechanische verwerking een grote hoeveelheid gas in de atmosferische drukomgeving, en in de vacuümtoestand komen deze eerder geadsorbeerde gassen ook weer vrij, wat een belangrijke factor vormt bij het beperken van de vacuümlimiet. Daarom moeten de verontreinigingen worden verwijderd voordat de onderdelen van de vacuümcoatingmachine worden geassembleerd.
Tijdens het gebruik van vacuümapparatuur raken ook de componenten ervan verontreinigd. De vervuiling door deze bron wordt echter voornamelijk veroorzaakt door de gebruiksomstandigheden en de vacuümpomp.
1. De verdamping van het filament van de vacuümmeter onder hoge temperatuuromstandigheden zal leiden tot de vorming van een film op de keramische isolator, wat de isolatiesterkte ervan in zekere mate zal aantasten en ook een zekere invloed zal hebben op de nauwkeurigheid van de meting;
2. Door de verdamping bij hoge temperatuur wordt er in vacuüm een metaalfilm gevormd op het oppervlak nabij het filament van het elektronenkanon;
3. Door het sputteren van het werkstuk wordt de binnenwand van de ionenbundel-etsapparatuur verontreinigd door spatten;
4. De binnenwand van de vacuümverdampingscoatingapparatuur wordt verontreinigd door het verdampingsdoelmateriaal;
5. Vaak wordt gebruik gemaakt van een vacuümdroogsysteem, waarbij het systeem verontreinigd raakt door de verdampte stoffen;
6. De olie van de diffusiepomp en de olie van de mechanische pomp in vacuümcoatingapparatuur vormen ook een belangrijke bron van vervuiling. Na langdurig gebruik van de coatingmachine kan zich een oliefilm in de apparatuur vormen.
Kortom, vacuümreiniging van apparatuur omvat vacuümapparatuur, vacuümsystemen, vacuümprocesproductie en andere aspecten en verbanden, evenals de eisen van de vacuümcoatingapparatuur zelf en het speciale vacuümproces met betrekking tot de gebruiksomstandigheden. Vacuümvervuiling is daarom een probleem dat aandacht verdient, omdat deze vervuiling de prestaties van de apparatuur beïnvloedt. Regelmatige of permanente reiniging is daarom essentieel.
Plaatsingstijd: 21-02-2023