De temperatuurcoëfficiënt van de weerstand van metaalfilm varieert met de filmdikte. Dunne films zijn negatief, dikke films positief, en dikkere films lijken op bulkmaterialen, maar zijn niet identiek. Over het algemeen verandert de temperatuurcoëfficiënt van de weerstand van negatief naar positief naarmate de filmdikte toeneemt tot tientallen nanometers.
Bovendien beïnvloedt de verdampingssnelheid ook de weerstandstemperatuurcoëfficiënt van metaalfilms. De lage verdampingssnelheid van de filmlaag is los, de elektronen passeren de potentiaalbarrière en het vermogen om geleidbaarheid te produceren is zwak, gekoppeld aan oxidatie en adsorptie. De weerstandswaarde is dus hoog, de weerstandstemperatuurcoëfficiënt is klein of zelfs negatief. Naarmate de verdampingssnelheid toeneemt, verandert de weerstandstemperatuurcoëfficiënt van de weerstand van klein naar positief. Dit komt door de lage verdampingssnelheid van de film die is vervaardigd door de oxidatie van de halfgeleidereigenschappen, waardoor de weerstandstemperatuurcoëfficiënt negatief is. Films die met een hoge verdampingssnelheid zijn vervaardigd, hebben doorgaans metaalachtige eigenschappen en een positieve weerstandstemperatuurcoëfficiënt.
Omdat de structuur van de film onomkeerbaar verandert met de temperatuur, veranderen de weerstand en de weerstandstemperatuurcoëfficiënt van de film ook met de temperatuur van de coatinglaag tijdens verdamping. Hoe dunner de film, hoe drastischer de verandering. Dit kan worden beschouwd als een gevolg van de chemische veranderingen die worden veroorzaakt door herverdamping en herverdeling van deeltjes van de film met de bij benadering eiland- of buisvormige structuur op het substraat, evenals roosterverstrooiing, verstrooiing van onzuiverheden, verstrooiing van roosterdefecten en oxidatie.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabricage van vacuümcoatingmachinesr Guangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 18-01-2024