प्रत्यक्ष आयन बीम निक्षेपण एक प्रकारको आयन बीम असिस्टेड निक्षेपण हो। प्रत्यक्ष आयन बीम निक्षेपण एक गैर-मास-विभाजित आयन बीम निक्षेपण हो। यो प्रविधि पहिलो पटक १९७१ मा हीरा जस्तो कार्बन फिल्महरू उत्पादन गर्न प्रयोग गरिएको थियो, जुन सिद्धान्तमा आधारित थियो कि आयन स्रोतको क्याथोड र एनोडको मुख्य भाग कार्बनबाट बनेको हुन्छ।
सेन्सिबल ग्यासलाई डिस्चार्ज चेम्बरमा लगिन्छ, र कम चापको अवस्थामा प्लाज्मा डिस्चार्ज गराउन बाह्य चुम्बकीय क्षेत्र थपिन्छ, जसले कार्बन आयनहरू उत्पादन गर्न इलेक्ट्रोडहरूमा आयनहरूको स्पटरिंग प्रभावमा भर पर्छ। प्लाज्मामा कार्बन आयनहरू र घना आयनहरूलाई एकै समयमा निक्षेप कक्षमा प्रेरित गरिएको थियो, र सब्सट्रेटमा नकारात्मक पूर्वाग्रह दबाबको कारणले गर्दा तिनीहरूलाई सब्सट्रेटमा इन्जेक्सन गर्न द्रुत गरिएको थियो।
परीक्षणको नतिजाले देखाउँछ कि ५०~१००eV को ऊर्जा भएको कार्बन आयनहरूकोठापारदर्शी हीरा जस्तो कार्बन फिल्मको तयारीमा Si, NaCI, KCI, Ni र अन्य सब्सट्रेटहरूमा तापक्रम, १०Q-cm सम्मको प्रतिरोधकता, लगभग २ को अपवर्तन सूचकांक, अजैविक र जैविक एसिडहरूमा अघुलनशील, धेरै उच्च कठोरता हुन्छ।
——यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: अगस्ट-३१-२०२३