भ्याकुम कोटिंग उपकरण सामान्यतया धेरै प्रमुख घटकहरू मिलेर बनेको हुन्छ, प्रत्येकको आफ्नै विशिष्ट कार्य हुन्छ, जुन कुशल, एकरूप फिल्म निक्षेपण प्राप्त गर्न एकसाथ काम गर्दछ। तल मुख्य घटकहरू र तिनीहरूका कार्यहरूको विवरण छ:
मुख्य अवयवहरू
भ्याकुम चेम्बर:
कार्य: वाष्पीकरण वा थुप्रो लाग्ने क्रममा कोटिंग सामग्रीलाई हावामा निस्कने अशुद्धतासँग प्रतिक्रिया गर्नबाट रोक्नको लागि कम-दबाव वा उच्च-भ्याकुम वातावरण प्रदान गर्दछ, जसले फिल्मको शुद्धता र गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।
संरचना: सामान्यतया उच्च-शक्ति, स्टेनलेस स्टील वा आल्मुनियमबाट बनेको, आन्तरिक डिजाइनले वायुप्रवाह वितरण र सब्सट्रेट प्लेसमेन्टको सहजतालाई ध्यानमा राख्छ।
भ्याकुम पम्प प्रणाली:
कार्य: आवश्यक भ्याकुम स्तर प्राप्त गर्न भ्याकुम चेम्बर भित्र ग्यास पम्प गर्न प्रयोग गरिन्छ।
प्रकारहरू: मेकानिकल पम्पहरू (जस्तै रोटरी भेन पम्पहरू), टर्बोमोलेकुलर पम्पहरू, प्रसार पम्पहरू र आयन पम्पहरू सहित।
वाष्पीकरण स्रोत वा थुक्ने स्रोत:
कार्य: कोटिंग सामग्रीलाई तताउँछ र वाष्पीकरण गरेर भ्याकुममा वाष्प वा प्लाज्मा बनाउँछ।
प्रकारहरू: प्रतिरोध ताप स्रोत, इलेक्ट्रोन बीम वाष्पीकरण स्रोत, म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ स्रोत र लेजर वाष्पीकरण स्रोत, आदि सहित।
सब्सट्रेट होल्डर र घुमाउने संयन्त्र:
कार्य: सब्सट्रेटलाई समात्छ र घुमाउने वा दोलनद्वारा सब्सट्रेटको सतहमा कोटिंग सामग्रीको एकरूप निक्षेपण सुनिश्चित गर्दछ।
निर्माण: सामान्यतया विभिन्न आकार र आकारका सब्सट्रेटहरू समायोजन गर्न समायोज्य क्ल्याम्पहरू र घुमाउने/दोलन संयन्त्रहरू समावेश हुन्छन्।
विद्युत आपूर्ति र नियन्त्रण प्रणाली:
कार्य: वाष्पीकरण स्रोत, स्पटरिंग स्रोत र अन्य उपकरणहरूलाई शक्ति प्रदान गर्दछ, र तापक्रम, भ्याकुम र समय जस्ता समग्र कोटिंग प्रक्रियाको प्यारामिटरहरू नियन्त्रण गर्दछ।
अवयवहरू: पावर आपूर्ति, नियन्त्रण प्यानल, कम्प्युटरीकृत नियन्त्रण प्रणाली, र अनुगमन सेन्सरहरू समावेश छन्।
ग्यास आपूर्ति प्रणाली (स्पटर कोटिंग उपकरणको लागि):
कार्य: प्लाज्मा कायम राख्न वा विशिष्ट पातलो फिल्म उत्पन्न गर्न रासायनिक प्रतिक्रियामा भाग लिन निष्क्रिय ग्याँसहरू (जस्तै, आर्गन) वा प्रतिक्रियाशील ग्याँसहरू (जस्तै, अक्सिजन, नाइट्रोजन) आपूर्ति गर्दछ।
अवयवहरू: ग्यास सिलिन्डरहरू, प्रवाह नियन्त्रकहरू, र ग्यास वितरण पाइपिङहरू समावेश छन्।
चिसो पार्ने प्रणाली:
कार्य: अत्यधिक तातो हुनबाट रोक्नको लागि वाष्पीकरण स्रोत, स्पटरिङ स्रोत र भ्याकुम चेम्बरलाई चिसो पार्छ।
प्रकारहरू: पानी शीतलन प्रणाली र हावा शीतलन प्रणाली, आदि समावेश गर्नुहोस्।
अनुगमन र पत्ता लगाउने प्रणाली:
कार्य: कोटिंगको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न कोटिंग प्रक्रियामा मुख्य प्यारामिटरहरू, जस्तै फिल्म मोटाई, निक्षेपण दर, भ्याकुम र तापक्रमको वास्तविक-समय अनुगमन।
प्रकारहरू: क्वार्ट्ज क्रिस्टल माइक्रोब्यालेन्स, अप्टिकल मोटाई मनिटर र अवशिष्ट ग्यास विश्लेषक, आदि सहित।
सुरक्षात्मक उपकरणहरू:
कार्य: उच्च तापक्रम, उच्च भोल्टेज वा भ्याकुम वातावरणबाट हुने खतराहरूबाट अपरेटरहरू र उपकरणहरूको सुरक्षा सुनिश्चित गर्दछ।
अवयवहरू: गार्डहरू, आपतकालीन स्टप बटनहरू र सुरक्षा इन्टरलकहरू, आदि समावेश गर्दछ।
संक्षेपमा भन्नुपर्दा।
भ्याकुम कोटिंग उपकरणले यी कम्पोनेन्टहरूको सिनर्जिस्टिक कार्य मार्फत उच्च-गुणस्तरको पातलो फिल्महरू जम्मा गर्ने प्रक्रियालाई साकार पार्छ। यी मेसिनहरूले अप्टिकल, इलेक्ट्रोनिक, सजावटी र कार्यात्मक पातलो फिल्महरूको तयारीमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छन्।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: जुलाई-२३-२०२४