အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်အကူအညီဖြင့် စုပုံခြင်းနည်းပညာ

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်အကူအညီဖြင့် စုပုံခြင်းနည်းပညာဆိုသည်မှာ အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်ထိုးသွင်းခြင်းနှင့် အငွေ့စုပုံခြင်းအပေါ်ယံလွှာနည်းပညာနှင့် အိုင်းယွန်းမျက်နှာပြင်ပေါင်းစပ်လုပ်ငန်းစဉ်နည်းပညာတို့ကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ သို့မဟုတ် အင်ဂျင်နီယာပစ္စည်းများဖြစ်စေ အိုင်းယွန်းထိုးသွင်းထားသောပစ္စည်းများ၏ မျက်နှာပြင်ပြုပြင်မွမ်းမံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ပြုပြင်ထားသောအလွှာ၏အထူသည် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းထက် များစွာပိုမိုများပြားစေလိုသော်လည်း အိုင်းယွန်းထိုးသွင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ အားသာချက်များကိုလည်း ထိန်းသိမ်းထားလိုပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့် ပြုပြင်ထားသောအလွှာနှင့် ထက်မြက်သောမျက်နှာပြင်ကြားရှိ အောက်ခံအလွှာကို အခန်းအပူချိန် workpiece တွင် ပြုပြင်နိုင်သည်စသည်ဖြင့်။ ထို့ကြောင့် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းကို အပေါ်ယံလွှာနည်းပညာနှင့် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် စွမ်းအင်အချို့ရှိသော အိုင်းယွန်းများကို အပေါ်ယံလွှာတင်နေစဉ်အတွင်း ဖလင်နှင့် အောက်ခံအလွှာကြားရှိ မျက်နှာပြင်ထဲသို့ အဆက်မပြတ်ထိုးသွင်းပြီး အပြန်အလှန်အက်တမ်များကို cascade collisions များဖြင့် ရောနှောကာ ဖလင်နှင့် အောက်ခံအလွှာကြားရှိ ချိတ်ဆက်အားကို မြှင့်တင်ရန် ကနဦးမျက်နှာပြင်အနီးရှိ အက်တမ်ရောစပ်အကူးအပြောင်းဇုန်ကို ဖွဲ့စည်းသည်။ ထို့နောက် အက်တမ်ရောစပ်ဇုန်တွင် လိုအပ်သောအထူနှင့် ဂုဏ်သတ္တိများရှိသော ဖလင်သည် အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်ပါဝင်မှုနှင့်အတူ ဆက်လက်ကြီးထွားလာသည်။

၎င်းကို Ion Beam Assisted Deposition (IBED) ဟုခေါ်ပြီး အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ ဝိသေသလက္ခဏာများကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ်တွင်ပင် အလွှာကို အလွှာနှင့် လုံးဝကွဲပြားသော အလွှာပါးတစ်ခုဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားနိုင်စေပါသည်။

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်အကူအညီဖြင့် ငွေစုခြင်းသည် အောက်ပါအားသာချက်များရှိသည်။

(1) အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်အကူအညီဖြင့် စုပုံခြင်းသည် ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်ခြင်းမရှိဘဲ ပလာစမာကို ထုတ်လုပ်သောကြောင့်၊ <10-2 Pa ဖိအားတွင် အပေါ်ယံလွှာပြုလုပ်နိုင်ပြီး ဓာတ်ငွေ့ညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချပေးပါသည်။

(၂) အခြေခံလုပ်ငန်းစဉ် ကန့်သတ်ချက်များ (အိုင်းယွန်းစွမ်းအင်၊ အိုင်းယွန်းသိပ်သည်းဆ) သည် လျှပ်စစ်ဖြစ်သည်။ ယေဘုယျအားဖြင့် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုနှင့် အခြားလျှပ်စစ်မဟုတ်သော ကန့်သတ်ချက်များကို ထိန်းချုပ်ရန် မလိုအပ်ပါ၊ ဖလင်အလွှာ၏ ကြီးထွားမှုကို အလွယ်တကူ ထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး ဖလင်၏ ပါဝင်မှုနှင့် ဖွဲ့စည်းပုံကို ချိန်ညှိနိုင်ပြီး လုပ်ငန်းစဉ်၏ ထပ်ခါတလဲလဲ လုပ်ဆောင်နိုင်မှုကို သေချာစေရန် လွယ်ကူပါသည်။

(၃) အလုပ်၏မျက်နှာပြင်ကို အလွှာနှင့် လုံးဝကွဲပြားသော ဖလင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်နိုင်ပြီး အထူကို အပူချိန်နိမ့် (<၂၀၀ ℃) တွင် ဗုံးကြဲအိုင်းယွန်းများ၏ စွမ်းအင်ဖြင့် ကန့်သတ်မထားပါ။ ၎င်းသည် ဓားပြားဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော လုပ်ဆောင်နိုင်သော ဖလင်များ၊ အအေးခံစက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော တိကျသောမှိုများနှင့် အပူချိန်နိမ့် အပူချိန်ထိန်းညှိထားသော ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ သံမဏိများ၏ မျက်နှာပြင်ကုသမှုအတွက် သင့်လျော်ပါသည်။

(၄) ၎င်းသည် အခန်းအပူချိန်တွင် ထိန်းချုပ်ထားသော မညီမျှမှုဖြစ်စဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ အပူချိန်မြင့်အဆင့်များ၊ တည်ငြိမ်မှုမရှိသောအဆင့်များ၊ amorphous alloys များစသည့် လုပ်ဆောင်ချက်အသစ်များပါသော ဖလင်အသစ်များကို အခန်းအပူချိန်တွင် ရရှိနိုင်ပါသည်။

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်အကူအညီဖြင့် စုပုံခြင်း၏ အားနည်းချက်များမှာ အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်။

(1) အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်တွင် တိုက်ရိုက်ရောင်ခြည် ဝိသေသလက္ခဏာများ ရှိသောကြောင့်၊ အလုပ်၏ ရှုပ်ထွေးသော မျက်နှာပြင်ပုံသဏ္ဍာန်ကို ကိုင်တွယ်ရန် ခက်ခဲပါသည်။

(၂) အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်စီးကြောင်း၏ အရွယ်အစားကန့်သတ်ချက်ကြောင့် ကြီးမားသောနှင့် ဧရိယာကြီးမားသော အလုပ်အပိုင်းအစများကို ကိုင်တွယ်ရန် ခက်ခဲသည်။

(3) အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်အကူအညီဖြင့် စုပုံနှုန်းသည် ပုံမှန်အားဖြင့် 1nm/s ဝန်းကျင်တွင်ရှိပြီး ၎င်းသည် ပါးလွှာသောဖလင်အလွှာများပြင်ဆင်ရန်အတွက် သင့်လျော်ပြီး ထုတ်ကုန်အမြောက်အမြားကို ပန်းကန်ပြားချရန်အတွက် မသင့်တော်ပါ။

- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာစက်ထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua