បច្ចេកវិទ្យាដាក់ស្រទាប់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង គឺជាបច្ចេកវិទ្យាចាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង និងថ្នាំកូតដាក់ស្រទាប់ចំហាយ រួមផ្សំជាមួយបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការសមាសធាតុផ្ទៃអ៊ីយ៉ុង។ នៅក្នុងដំណើរការនៃការកែប្រែផ្ទៃនៃសម្ភារៈចាក់អ៊ីយ៉ុង មិនថាសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឬសម្ភារៈវិស្វកម្មទេ ជារឿយៗគេចង់បានថាកម្រាស់នៃស្រទាប់កែប្រែគឺធំជាងកម្រាស់នៃការដាក់អ៊ីយ៉ុង ប៉ុន្តែក៏ចង់រក្សាគុណសម្បត្តិនៃដំណើរការចាក់អ៊ីយ៉ុងផងដែរ ដូចជាស្រទាប់កែប្រែ និងស្រទាប់ខាងក្រោមរវាងចំណុចប្រសព្វមុតស្រួច អាចត្រូវបានដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ល។ ដូច្នេះ ដោយការផ្សំការដាក់អ៊ីយ៉ុងជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត អ៊ីយ៉ុងដែលមានថាមពលជាក់លាក់មួយត្រូវបានចាក់ជាបន្តបន្ទាប់ទៅក្នុងចំណុចប្រសព្វរវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ខណៈពេលកំពុងលាបថ្នាំ ហើយអាតូមអន្តរមុខត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាដោយមានជំនួយពីការប៉ះទង្គិចគ្នា បង្កើតជាតំបន់អន្តរកាលលាយអាតូមនៅជិតចំណុចប្រសព្វដំបូង ដើម្បីបង្កើនកម្លាំងភ្ជាប់រវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ បន្ទាប់មក នៅលើតំបន់លាយអាតូម ខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិដែលត្រូវការបន្តកើនឡើងជាមួយនឹងការចូលរួមរបស់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង។
នេះត្រូវបានគេហៅថា ការដាក់អ៊ីយ៉ុងជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង (IBED) ដែលរក្សាលក្ខណៈនៃដំណើរការដាក់អ៊ីយ៉ុង ខណៈពេលដែលអនុញ្ញាតឱ្យស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានស្រោបដោយសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលខុសគ្នាទាំងស្រុងពីស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការដាក់ស្រទាប់អ៊ីយ៉ុងជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម។
(1) ដោយសារតែការដាក់ស្រទាប់លោហៈដោយមានជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងបង្កើតប្លាស្មាដោយគ្មានការបញ្ចេញឧស្ម័ន ការលាបថ្នាំអាចត្រូវបានអនុវត្តនៅសម្ពាធ <10-2 Pa ដែលកាត់បន្ថយការបំពុលឧស្ម័ន។
(2) ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការជាមូលដ្ឋាន (ថាមពលអ៊ីយ៉ុង ដង់ស៊ីតេអ៊ីយ៉ុង) គឺជាអគ្គិសនី។ ជាទូទៅមិនចាំបាច់គ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័ន និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រមិនមែនអគ្គិសនីផ្សេងទៀតទេ អ្នកអាចគ្រប់គ្រងការលូតលាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តបានយ៉ាងងាយស្រួល កែតម្រូវសមាសភាព និងរចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្ត ងាយស្រួលក្នុងការធានាបាននូវភាពអាចធ្វើម្តងទៀតបាននៃដំណើរការ។
(3) ផ្ទៃនៃស្នាដៃអាចត្រូវបានស្រោបដោយខ្សែភាពយន្តដែលខុសគ្នាទាំងស្រុងពីស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយកម្រាស់មិនត្រូវបានកំណត់ដោយថាមពលនៃអ៊ីយ៉ុងទម្លាក់គ្រាប់បែកនៅសីតុណ្ហភាពទាប (<200℃) ទេ។ វាស័ក្តិសមសម្រាប់ការព្យាបាលលើផ្ទៃនៃខ្សែភាពយន្តមុខងារដែលមានសារធាតុបន្ថែម ផ្សិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលម៉ាស៊ីនត្រជាក់ និងដែកថែបរចនាសម្ព័ន្ធដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប។
(4) វាគឺជាដំណើរការមិនមានលំនឹងដែលគ្រប់គ្រងនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ ខ្សែភាពយន្តមុខងារថ្មីដូចជាដំណាក់កាលសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដំណាក់កាលអស្ថិរភាព យ៉ាន់ស្ព័រអាម៉ូហ្វូស ជាដើម អាចទទួលបាននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។
គុណវិបត្តិនៃការដាក់ស្រទាប់អ៊ីយ៉ុងដោយមានជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺ។
(1) ដោយសារតែធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងមានលក្ខណៈវិទ្យុសកម្មដោយផ្ទាល់ វាពិបាកក្នុងការដោះស្រាយជាមួយនឹងរូបរាងផ្ទៃស្មុគស្មាញនៃស្នាដៃ។
(2) វាពិបាកក្នុងការដោះស្រាយជាមួយដុំការងារទ្រង់ទ្រាយធំ និងផ្ទៃធំ ដោយសារតែការកំណត់ទំហំនៃស្ទ្រីមធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង។
(3) អត្រានៃការដាក់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងជាធម្មតាមានប្រហែល 1nm/s ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ការរៀបចំស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗ ហើយមិនស័ក្តិសមសម្រាប់ការដាក់ផលិតផលក្នុងបរិមាណច្រើននោះទេ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៣