Tekonolosi fa'aputuga fesoasoani i le ave o le ion

O le tekinolosi fa'aputuga fesoasoani i le ave o le ion o le tekinolosi fa'apipi'i ion ma le fa'apipi'iina o le ausa e tu'ufa'atasia ma le tekinolosi fa'agasologa o le fa'apipi'iina o le ion surface. I le faagasologa o le suia o le luga o mea fa'apipi'i ion, pe o mea semiconductor pe o mea fa'ainisinia, e masani ona mana'omia le mafiafia o le vaega ua suia e sili atu nai lo le fa'apipi'iina o le ion, ae ia tausia fo'i lelei o le faagasologa o le fa'apipi'iina o le ion, e pei o le vaega ua suia ma le substrate i le va o le va'aiga ma'ai, e mafai ona fa'agasolo i le vevela o le potu, ma isi mea fa'apena. O le mea lea, e ala i le tu'ufa'atasia o le fa'apipi'iina o le ion ma le tekinolosi fa'apipi'i, o ions e iai se malosi fa'apitoa e fa'apipi'i pea i totonu o le va o le ata tifaga ma le substrate a'o fa'apipi'i, ma o atoms interfacial e fa'afefiloi i le fesoasoani a le cascade collisions, ma fausia ai se atom mixing transition zone e lata ane i le va'aiga muamua e fa'aleleia atili ai le malosi o le fusifusia i le va o le ata tifaga ma le substrate. Ona, i luga o le atom mixing zone, o le ata tifaga e iai le mafiafia ma meatotino mana'omia e fa'aauau pea ona tuputupu a'e fa'atasi ai ma le auai o le ion beam.

Ua ta'ua lea o le Ion Beam Assisted Deposition (IBED), lea e taofia ai uiga o le faiga o le fa'apipi'iina o le ion a'o fa'atagaina ai le mea e ufiufi ai i se mea manifinifi e matua'i ese lava mai le mea e teu ai.

O le fa'aputuga fesoasoani a le ion beam e iai ona lelei nei.

(1) Talu ai ona o le fa'aputuga fesoasoani a le ion beam e fa'atupuina ai le plasma e aunoa ma le fa'asa'olotoina o le kesi, e mafai ona faia le ufiufi i le mamafa o le <10-2 Pa, ma fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le kesi.

(2) O fa'avae autū o le fa'agasologa (malosiaga o le ion, mafiafia o le ion) e eletise. E masani lava e le mana'omia ona pulea le tafe o le kesi ma isi fa'atulagaga e le o ni eletise, e faigofie ona e pulea le tuputupu a'e o le vaega o le ata tifaga, fetu'una'i le fa'atulagaga ma le fausaga o le ata tifaga, ma faigofie ona fa'amautinoa le toe faia o le fa'agasologa.

(3) E mafai ona ufiufi le fogāeleele o le mea faigaluega i se ata tifaga e matuā ese lava mai le mea sa i ai ma e lē fa'atapula'aina lona mafiafia e le malosi o ions o le pomu i le vevela maualalo (<200℃). E talafeagai mo le togafitia o le fogāeleele o ata tifaga fa'atino ua fa'apipi'iina, fa'ata'ita'iga sa'o ua fa'ama'a'aina i le malulu ma u'amea fa'atulagaina ua fa'ama'a'aina i le vevela maualalo.

(4) O se faiga e le paleni e pulea i le vevela o le potu. E mafai ona maua ni ata fou e aoga e pei o vaega vevela maualuga, vaega e le mautu, amorphous alloys, ma isi mea faapena i le vevela o le potu.

O nisi o itu le lelei o le fa'aputuga fesoasoani a le ion beam.

(1) Talu ai ona o le ave o le ion e iai ona uiga tuusaʻo o le faʻasalalauina, e faigata ai ona taulimaina foliga faigata o le fogāeleele o le mea faigaluega

(2) E faigata ona taulimaina ni mea faigaluega tetele ma ni vaega tetele ona o le tapulaʻa o le tele o le vaitafe o le ion beam.

(3) O le fua faatatau o le fa'aputuga fesoasoani a le ion beam e masani lava pe tusa ma le 1nm/s, lea e talafeagai mo le sauniaina o ni vaega manifinifi o ata tifaga, ma e le talafeagai mo le ufiufiina o le tele o oloa.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua