Ион нуры ярдәмендә урнаштыру технологиясе - ион нуры инъекциясе һәм пар белән каплау технологиясе, ион өслеге композит эшкәртү технологиясе белән берләштерелгән. Ион инъекциясе материалларының өслеген модификацияләү процессында, ярымүткәргеч материаллар яки инженерлык материаллары булсынмы, еш кына модификацияләнгән катламның калынлыгы ион имплантациясеннән күпкә зуррак булырга тиеш, ләкин шулай ук ион инъекциясе процессының өстенлекләрен саклап калырга кирәк, мәсәлән, модификацияләнгән катлам һәм кискен чик арасындагы субстрат бүлмә температурасында эшкәртелә ала һ.б. Шуңа күрә, ион имплантациясен каплау технологиясе белән берләштереп, каплау вакытында билгеле бер энергиягә ия ионнар пленка һәм субстрат арасындагы чиккә өзлексез кертелә, һәм чик атомнары каскад бәрелешләре ярдәмендә кушыла, пленка һәм субстрат арасындагы бәйләнеш көчен яхшырту өчен башлангыч чик янында атомнар катнашмасының күчү зонасын барлыкка китерә. Аннары, атом катнашмасы зонасында, кирәкле калынлык һәм үзлекләргә ия пленка ион нуры катнашында үсә бара.
Бу ион нурлары ярдәмендә катлауландыру (IBED) дип атала, ул ион имплантацияләү процессының үзенчәлекләрен саклый, шул ук вакытта субстратны субстраттан бөтенләй аерылып торган юка пленка материалы белән капларга мөмкинлек бирә.
Ион нуры ярдәмендә катламлаштыру түбәндәге өстенлекләргә ия.
(1) Ион нурлары ярдәмендә утырту газ бүленеп чыкмыйча плазма барлыкка китергәнлектән, каплау <10-2 Па басым астында башкарылырга мөмкин, бу газ пычрануын киметә.
(2) Төп процесс параметрлары (ион энергиясе, ион тыгызлыгы) электрик. Гадәттә газ агымын һәм башка электр булмаган параметрларны контрольдә тотарга кирәкми, сез пленка катламының үсешен җиңел контрольдә тота аласыз, пленканың составын һәм структурасын көйли аласыз, процессның кабатланучанлыгын тәэмин итү җиңел.
(3) Эшкәртмә өслеген субстраттан бөтенләй аерылып торган пленка белән капларга мөмкин, һәм калынлыгы түбән температурада (<200℃) бомбага тоту ионнары энергиясе белән чикләнми. Ул легирланган функциональ пленкаларны, салкын эшкәртелгән төгәл формаларны һәм түбән температурада чыныктырылган конструкция корычын өслек эшкәртү өчен яраклы.
(4) Бу бүлмә температурасында контрольдә тотыла торган тигезсезлек процессы. Югары температуралы фазалар, тотрыклы фазалар, аморф эретмәләр һ.б. кебек яңа функциональ пленкалар бүлмә температурасында алынырга мөмкин.
Ион нуры ярдәмендә утыртуның кимчелекләре.
(1) Ион нуры туры нурланыш үзенчәлекләренә ия булганлыктан, эшләнгән кисәкнең катлаулы өслек формасы белән эш итү авыр.
(2) Ион нуры агымының зурлыгы чикләнгәнлектән, зур масштаблы һәм зур мәйданлы эш кисәкләре белән эш итү авыр.
(3) Ион нуры ярдәмендә утырту тизлеге гадәттә 1 нм/с тирәсе, бу юка пленка катламнарын әзерләү өчен яраклы, һәм күп күләмдәге продуктларны каплау өчен яраклы түгел.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 16 ноябре