Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtọ́jú ion beam assisted ni ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtọ́jú ion beam abẹ́rẹ́ àti vapor deposition coating tí a so pọ̀ mọ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtọ́jú ion dada composite. Nínú ìlànà ìyípadà ojú ilẹ̀ ti àwọn ohun èlò ìtọ́jú ion tí a fi sínú ion, yálà àwọn ohun èlò semiconductor tàbí àwọn ohun èlò ìmọ̀ ẹ̀rọ, a sábà máa ń fẹ́ kí sisanra ti fẹlẹfẹlẹ tí a yí padà pọ̀ ju ti ìtọ́jú ion lọ, ṣùgbọ́n ó tún fẹ́ láti pa àwọn àǹfààní ti ilana ìtọ́jú ion mọ́, bíi ti a yí padà àti ti a yí padà láàárín ìtọ́jú tí ó mú, a lè ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ ní ibi iṣẹ́ otutu yàrá, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Nítorí náà, nípa sísopọ̀ ìtọ́jú ion pọ̀ mọ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtọ́jú, a máa ń fi àwọn ion tí ó ní agbára kan sínú ìtọ́jú fíìmù náà nígbà tí a bá ń bò ó, a sì máa ń da àwọn átọ̀mù interfacial pọ̀ mọ́ ìrànlọ́wọ́ àwọn ìkọlù cascade, tí ó ń ṣẹ̀dá agbègbè ìyípadà àdàpọ̀ átọ̀mù kan nítòsí ìtọ́jú àkọ́kọ́ láti mú agbára ìsopọ̀ láàrín fíìmù náà àti ti a yí padà sunwọ̀n síi. Lẹ́yìn náà, lórí agbègbè ìtọ́jú átọ̀mù, fíìmù tí ó ní ìwọ̀n àti àwọn ànímọ́ tí a nílò ń tẹ̀síwájú láti dàgbà pẹ̀lú ìkópa ti ìtọ́jú ion beam.
Èyí ni a ń pè ní Ion Beam Assisted Deposition (IBED), èyí tí ó ń pa àwọn ànímọ́ ilana ìfiran ion mọ́ nígbàtí ó ń jẹ́ kí a fi ohun èlò fíìmù tín-tín tí ó yàtọ̀ pátápátá bo substrate náà.
Iduro iranlọwọ ti ion beam ni awọn anfani wọnyi.
(1) Níwọ́n ìgbà tí ìfàsẹ́yìn ion beam ranlọ́wọ́ ń mú plasma jáde láìsí ìtújáde gaasi, a lè ṣe ìbòrí ní ìwọ̀n tí ó kéré sí 10-2 Pa, èyí tí yóò dín ìbàjẹ́ gaasi kù.
(2) Àwọn ìlànà ìpìlẹ̀ ìlànà (agbára ion, ìwọ̀n ion) jẹ́ ti iná mànàmáná. Ní gbogbogbòò, kò sí ìdí láti ṣàkóso ìṣàn gaasi àti àwọn pàrámítà mìíràn tí kìí ṣe ti iná mànàmáná, o lè ṣàkóso ìdàgbàsókè ti fẹlẹfẹlẹ fíìmù náà ní irọ̀rùn, ṣàtúnṣe ìṣètò àti ìṣètò fíìmù náà, ó rọrùn láti rí i dájú pé iṣẹ́ náà ṣeé tún ṣe.
(3) A le fi fiimu ti o yatọ patapata si ipilẹ bo oju iṣẹ naa ati pe sisanra ko ni opin nipasẹ agbara ti awọn ion bombardment ni iwọn otutu kekere (<200℃). O dara fun itọju dada ti awọn fiimu iṣẹ-ṣiṣe ti a fi doped ṣe, awọn molds ti a fi ẹrọ tutu ṣe deede ati irin ti o ni iwọn otutu kekere.
(4) Ó jẹ́ ìlànà tí kò ní ìwọ́ntúnwọ́nsí tí a ń ṣàkóso ní ìwọ̀n otútù yàrá. Àwọn fíìmù tuntun tí ó ń ṣiṣẹ́ bíi àwọn ìpele ìgbóná gíga, àwọn ìpele tí kò ṣeé yípadà, àwọn alloy amorphous, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ ni a lè rí ní ìwọ̀n otútù yàrá.
Àwọn àléébù tí ó wà nínú ìdúró ion beam tí a ràn lọ́wọ́ ni.
(1) Nítorí pé ìtànṣán ion ní àwọn ànímọ́ ìtànṣán tààrà, ó ṣòro láti kojú ìrísí ojú tí ó díjú ti iṣẹ́ náà
(2) Ó ṣòro láti bá àwọn iṣẹ́ tó tóbi àti tó tóbi lò nítorí pé ìwọ̀n ìṣàn ion beam náà kò tó nǹkan.
(3) Oṣuwọn gbigba agbara ti a ṣe iranlọwọ fun ion beam nigbagbogbo jẹ ni ayika 1nm/s, eyiti o yẹ fun igbaradi awọn fẹlẹfẹlẹ fiimu tinrin, ati pe ko yẹ fun fifi awọn ọja pamọ pupọ.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-16-2023