Ion şöhlesi kömegi bilen çökdürme tehnologiýasy ion şöhlesi inýeksiýasy we bug çökdürme örtük tehnologiýasy bilen ion ýüz kompozit işläp bejeriş tehnologiýasy bilen utgaşdyrylýar. Ýarymgeçiriji materiallar ýa-da inženerçilik materiallary bolsun, ion inýeksiýasy materiallarynyň ýüz modifikasiýa prosesinde, üýtgedilen gatlagyň galyňlygynyň ion implantasiýasyndan has uly bolmagy köplenç islenýär, ýöne üýtgedilen gatlagyň we ýiti serhet arasyndaky substratyň otag temperaturasyndaky iş böleginde işläp bilinmegi ýaly ion inýeksiýasy prosesiniň artykmaçlyklaryny saklamak hem islenýär. Şonuň üçin, ion implantasiýasyny örtük tehnologiýasy bilen utgaşdyrmak arkaly, örtük wagtynda belli bir energiýaly ionlar plýonka bilen substratyň arasyndaky serhete yzygiderli inýeksiýa edilýär we serhet atomlary kaskad çaknyşyklarynyň kömegi bilen garyşdyrylýar, plýonka bilen substratyň arasyndaky baglanyşyk güýjüni gowulandyrmak üçin başlangyç serhetiň golaýynda atom garyşma geçiş zolagyny emele getirýär. Soňra, atom garyşma zolagynda, zerur galyňlyga we häsiýetlere eýe bolan plýonka ion şöhlesiniň gatnaşmagy bilen ösmegini dowam etdirýär.
Bu, Ion Şöhlesi Kömekli Çökdürme (IBED) diýlip atlandyrylýar, ol ion implantasiýa prosesiniň aýratynlyklaryny saklaýar we substratyň substratdan düýbünden tapawutly inçe plýonka materialy bilen örtülmegine mümkinçilik berýär.
Ion şöhlesi kömegi bilen çökdürmegiň aşakdaky artykmaçlyklary bar.
(1) Ion şöhlesiniň kömegi bilen çökündi gaz çykarmazdan plazma emele getirýändigi üçin, örtük gaz hapalanmagyny azaldyp, <10-2 Pa basyşda ýerine ýetirilip bilner.
(2) Esasy proses parametrleri (ion energiýasy, ion dykyzlygy) elektrikdir. Umuman, gaz akymyny we beýleki elektrik däl parametrleri gözegçilikde saklamagyň zerurlygy ýok, plýonka gatlagynyň ösüşini aňsatlyk bilen gözegçilikde saklap, plýonkanyň düzümini we gurluşyny sazlap, prosesiň gaýtalanmagyny üpjün etmek aňsat.
(3) Iş böleginiň ýüzüni substratdan düýbünden tapawutly plýonka bilen örtmek bolýar we galyňlygy pes temperaturada (<200℃) bombardman ionlarynyň energiýasy bilen çäklendirilmeýär. Ol lehimlenen funksional plýonkalaryň, sowuk işlenen takyk galyplaryň we pes temperaturada çydamly gurluş polatlarynyň ýüzüni işläp bejermek üçin amatlydyr.
(4) Bu otag temperaturasynda dolandyrylýan deňagramly däl prosesdir. Ota temperaturasynda ýokary temperaturaly fazalar, substabil fazalar, amorf erginler we ş.m. ýaly täze funksional plýonkalar alnyp bilner.
Ion şöhlesi kömegi bilen çökdürmegiň kemçilikleri şulardyr.
(1) Ion şöhlesi göni şöhlelenme häsiýetlerine eýe bolany üçin, iş böleginiň çylşyrymly ýüz görnüşi bilen iş salyşmak kyn.
(2) Ion şöhlesiniň akymynyň ölçeginiň çäkliligi sebäpli uly göwrümli we uly meýdanly iş bölekleri bilen işlemek kyn.
(3) Ion şöhlesiniň kömegi bilen çökündi tizligi adatça 1 nm/s töwereginde bolýar, bu bolsa inçe plýonka gatlaklaryny taýýarlamak üçin amatlydyr we köp mukdarda önümleriň örtülmegi üçin amatly däl.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 16-njy noýabry