அயனி கற்றை உதவிப் படிவுத் தொழில்நுட்பம் என்பது அயனி கற்றை உட்செலுத்துதல் மற்றும் ஆவிப் படிவுப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பத்தை, அயனி மேற்பரப்புக் கூட்டுச் செயலாக்கத் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைப்பதாகும். அயனி உட்செலுத்தப்பட்ட பொருட்களின், அவை குறைக்கடத்திப் பொருட்களாக இருந்தாலும் சரி அல்லது பொறியியல் பொருட்களாக இருந்தாலும் சரி, மேற்பரப்பு மாற்றியமைக்கும் செயல்பாட்டில், மாற்றியமைக்கப்பட்ட அடுக்கின் தடிமன் அயனி உட்செலுத்தலை விட மிக அதிகமாக இருக்க வேண்டும் என்று பெரும்பாலும் விரும்பப்படுகிறது. அதே சமயம், மாற்றியமைக்கப்பட்ட அடுக்குக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான கூர்மையான இடைமுகம், அறை வெப்பநிலையில் வேலைப் பொருளைச் செயலாக்க முடியும் என்பது போன்ற அயனி உட்செலுத்துதல் செயல்முறையின் நன்மைகளையும் தக்க வைத்துக் கொள்ள வேண்டும் எனவும் விரும்பப்படுகிறது. எனவே, அயனி உட்செலுத்தலை பூச்சுத் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைப்பதன் மூலம், பூச்சுப் பணியின் போது ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றல் கொண்ட அயனிகள், படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான இடைமுகத்தில் தொடர்ச்சியாக உட்செலுத்தப்படுகின்றன. மேலும், இடைமுக அணுக்கள் தொடர் மோதல்களின் உதவியுடன் கலந்து, ஆரம்ப இடைமுகத்திற்கு அருகில் ஒரு அணுக்கலப்பு இடைநிலை மண்டலத்தை உருவாக்குகின்றன. இது படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பு விசையை மேம்படுத்துகிறது. பின்னர், அந்த அணுக்கலப்பு மண்டலத்தில், அயனி கற்றையின் பங்களிப்புடன், தேவையான தடிமன் மற்றும் பண்புகளைக் கொண்ட படலம் தொடர்ந்து வளர்கிறது.
இது அயனி கற்றை உதவிப் படிவு (IBED) என்று அழைக்கப்படுகிறது. இது அயனி உட்புகுத்தல் செயல்முறையின் பண்புகளைத் தக்கவைத்துக்கொள்வதோடு, அடி மூலக்கூறிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட ஒரு மெல்லிய படலப் பொருளைக் கொண்டு அதன் மீது பூசவும் அனுமதிக்கிறது.
அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.
(1) அயனி கற்றை உதவிய படிவு வாயு வெளியேற்றம் இல்லாமல் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குவதால், <10-2 Pa அழுத்தத்தில் பூச்சு செய்ய முடியும், இது வாயு மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.
(2) அடிப்படை செயல்முறை அளவுருக்கள் (அயனி ஆற்றல், அயனி அடர்த்தி) மின்சார ரீதியானவை. பொதுவாக வாயு ஓட்டம் மற்றும் பிற மின்சாரமற்ற அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்தத் தேவையில்லை, நீங்கள் படல அடுக்கின் வளர்ச்சியை எளிதாகக் கட்டுப்படுத்தலாம், படலத்தின் கலவை மற்றும் அமைப்பை சரிசெய்யலாம், செயல்முறையின் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை எளிதாக உறுதிப்படுத்தலாம்.
(3) வேலைப் பொருளின் மேற்பரப்பில், அடி மூலக்கூறிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட ஒரு படலத்தைப் பூசலாம், மேலும் அதன் தடிமன் குறைந்த வெப்பநிலையில் (<200℃) குண்டுவீச்சு அயனிகளின் ஆற்றலால் கட்டுப்படுத்தப்படுவதில்லை. இது கலப்பு செய்யப்பட்ட செயல்பாட்டுப் படலங்கள், குளிர் இயந்திரத்தால் செய்யப்பட்ட துல்லியமான அச்சுகள் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலையில் பதப்படுத்தப்பட்ட கட்டமைப்பு எஃகு ஆகியவற்றின் மேற்பரப்பு சிகிச்சைக்கு ஏற்றது.
(4) இது அறை வெப்பநிலையில் கட்டுப்படுத்தப்படும் ஒரு சமநிலையற்ற செயல்முறையாகும். உயர்-வெப்பநிலை கட்டங்கள், துணை-நிலையான கட்டங்கள், உருவமற்ற கலவைகள் போன்ற புதிய செயல்பாட்டுப் படலங்களை அறை வெப்பநிலையில் பெறலாம்.
அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு முறையின் தீமைகள் பின்வருமாறு.
(1) அயனி கற்றை நேரடி கதிர்வீச்சு பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், வேலைப் பொருளின் சிக்கலான மேற்பரப்பு வடிவத்தைக் கையாள்வது கடினம்.
(2) அயனி கற்றை ஓட்டத்தின் அளவு வரம்பு காரணமாக பெரிய அளவிலான மற்றும் பெரிய பரப்பளவு கொண்ட வேலைத் துண்டுகளைக் கையாள்வது கடினம்.
(3) அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு வீதம் பொதுவாக 1nm/s ஆக இருக்கும், இது மெல்லிய படல அடுக்குகளைத் தயாரிப்பதற்கு ஏற்றது, ஆனால் அதிக அளவு தயாரிப்புகளை பூசுவதற்கு ஏற்றதல்ல.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: நவம்பர் 16, 2023