Ion nurlari yordamida cho'ktirish texnologiyasi ion nurlarini in'ektsiya qilish va bug'larni cho'ktirish qoplama texnologiyasi bilan ion sirt kompozit ishlov berish texnologiyasini birlashtiradi. Ion in'ektsiya qilingan materiallarning sirt modifikatsiyasi jarayonida, yarimo'tkazgich materiallari yoki muhandislik materiallari bo'lsin, ko'pincha modifikatsiyalangan qatlamning qalinligi ion implantatsiyasidan ancha katta bo'lishi kerak, lekin ion in'ektsiya jarayonining afzalliklarini saqlab qolish kerak, masalan, modifikatsiyalangan qatlam va o'tkir interfeys orasidagi substrat xona haroratidagi ish qismida ishlov berilishi mumkin va hokazo. Shuning uchun, ion implantatsiyasini qoplama texnologiyasi bilan birlashtirish orqali, qoplama paytida ma'lum energiyaga ega ionlar plyonka va substrat orasidagi interfeysga doimiy ravishda kiritiladi va interfeys atomlari kaskad to'qnashuvlari yordamida aralashtiriladi, plyonka va substrat orasidagi bog'lanish kuchini yaxshilash uchun dastlabki interfeys yaqinida atom aralashtirish o'tish zonasini hosil qiladi. Keyin, atom aralashtirish zonasida, kerakli qalinlik va xususiyatlarga ega plyonka ion nurlari ishtirokida o'sishda davom etadi.
Bu Ion nurlari yordamida cho'ktirish (IBED) deb ataladi, bu esa ion implantatsiyasi jarayonining xususiyatlarini saqlab qoladi va shu bilan birga substratni substratdan butunlay farq qiladigan yupqa plyonkali material bilan qoplashga imkon beradi.
Ion nurlari yordamida cho'ktirish quyidagi afzalliklarga ega.
(1) Ion nurlari yordamida cho'ktirish gaz chiqarmasdan plazma hosil qilganligi sababli, qoplama <10-2 Pa bosimda amalga oshirilishi mumkin, bu esa gaz ifloslanishini kamaytiradi.
(2) Jarayonning asosiy parametrlari (ion energiyasi, ion zichligi) elektrdir. Odatda gaz oqimini va boshqa elektr bo'lmagan parametrlarni boshqarish shart emas, siz plyonka qatlamining o'sishini osongina boshqarishingiz, plyonkaning tarkibi va tuzilishini sozlashingiz, jarayonning takrorlanishini ta'minlashingiz mumkin.
(3) Ish qismining yuzasi substratdan butunlay farq qiladigan plyonka bilan qoplanishi mumkin va qalinligi past haroratda (<200℃) bombardimon ionlarining energiyasi bilan cheklanmaydi. U lehimlangan funktsional plyonkalar, sovuq ishlov berilgan aniq qoliplar va past haroratli temperlangan strukturaviy po'latni sirt bilan ishlov berish uchun javob beradi.
(4) Bu xona haroratida boshqariladigan muvozanatsiz jarayon. Xona haroratida yuqori haroratli fazalar, substabil fazalar, amorf qotishmalar va boshqalar kabi yangi funktsional plyonkalar olinishi mumkin.
Ion nurlari yordamida cho'ktirishning kamchiliklari quyidagilardir.
(1) Ion nurlari to'g'ridan-to'g'ri nurlanish xususiyatlariga ega bo'lgani uchun, ish qismining murakkab sirt shakli bilan ishlash qiyin.
(2) Ion nurlari oqimining o'lchamlari cheklanganligi sababli, katta o'lchamli va katta maydonli ish qismlari bilan ishlash qiyin.
(3) Ion nurlari yordamida cho'ktirish tezligi odatda 1 nm/s atrofida bo'ladi, bu yupqa plyonka qatlamlarini tayyorlash uchun mos keladi va ko'p miqdordagi mahsulotlarni qoplash uchun mos emas.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 16-noyabr