ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە تېخنىكىسى

ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە تېخنىكىسى ئىئون نۇرى ئوكۇل قىلىش ۋە پارغا ئوكۇل قىلىش قاپلاش تېخنىكىسى بىلەن ئىئون يۈزى بىرىكمە بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىسىنىڭ بىرلەشتۈرۈلگەنلىكىدۇر. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار بولسۇن ياكى قۇرۇلۇش ماتېرىياللىرى بولسۇن، ئىئون ئوكۇل قىلىنغان ماتېرىياللارنىڭ يۈزى ئۆزگەرتىش جەريانىدا، ئۆزگەرتىلگەن قەۋەتنىڭ قېلىنلىقى ئىئون ئوكۇل قىلىشتىن كۆپ چوڭ بولۇشى تەلەپ قىلىنىدۇ، شۇنداقلا ئۆزگەرتىلگەن قەۋەت بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى ئۆتكۈر يۈزنى ئۆي تېمپېراتۇرىسىدىكى ئىشخانا بۇيۇمىدا بىر تەرەپ قىلغىلى بولىدىغانلىقى قاتارلىق ئىئون ئوكۇل قىلىش جەريانىنىڭ ئەۋزەللىكلىرىنى ساقلاپ قېلىش كېرەك. شۇڭا، ئىئون ئوكۇل قىلىشنى قاپلاش تېخنىكىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق، قاپلاش جەريانىدا بەلگىلىك ئېنېرگىيەگە ئىگە ئىئونلار پىلاستىنكا بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى يۈزگە ئۈزلۈكسىز ئوكۇل قىلىنىدۇ، يۈز ئاتوملىرى كاسكاد سوقۇلۇش ئارقىلىق ئارىلاشتۇرۇلۇپ، دەسلەپكى يۈزگە يېقىن ئاتوم ئارىلىشىش ئۆتكۈنچى رايونى ھاسىل قىلىنىپ، پىلاستىنكا بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى باغلىنىش كۈچىنى ياخشىلايدۇ. ئاندىن، ئاتوم ئارىلىشىش رايونىدا، ئىئون نۇرىنىڭ قاتنىشىشى بىلەن تەلەپ قىلىنىدىغان قېلىنلىق ۋە خۇسۇسىيەتكە ئىگە پىلاستىنكا داۋاملىق ئۆسىدۇ.

بۇ ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە (IBED) دەپ ئاتىلىدۇ، بۇ ئۇسۇل ئىئون كۆچۈرۈش جەريانىنىڭ ئالاھىدىلىكلىرىنى ساقلاپ قېلىش بىلەن بىر ۋاقىتتا، ئاساسىي قاتلامنىڭ ئاساسىي قاتلامدىن پۈتۈنلەي پەرقلىق بولغان نېپىز پەردە ماتېرىيالى بىلەن قاپلىنىشىغا يول قويىدۇ.

ئىئون نۇرى ياردىمىدە چۆكتۈرۈشنىڭ تۆۋەندىكى ئەۋزەللىكلىرى بار.

(1) ئىئون نۇرى ياردىمىدە چۆكتۈرۈش گاز قويۇپ بەرمەي پلازما ھاسىل قىلىدىغان بولغاچقا، قاپلاش <10-2 Pa بېسىم ئاستىدا ئېلىپ بېرىلىپ، گاز بۇلغىنىشىنى ئازايتقىلى بولىدۇ.

(2) ئاساسىي جەريان پارامېتىرلىرى (ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئىئون زىچلىقى) ئېلېكترلىك. ئادەتتە گاز ئېقىمى ۋە باشقا ئېلېكترسىز پارامېتىرلارنى كونترول قىلىشنىڭ ھاجىتى يوق، سىز پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ ئۆسۈشىنى ئاسانلا كونترول قىلالايسىز، پىلاستىنكىنىڭ تەركىبى ۋە قۇرۇلمىسىنى تەڭشىيەلەيسىز، بۇ جەرياننىڭ تەكرارلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

(3) ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ يۈزى ئاساسىي قاتلامدىن پۈتۈنلەي پەرقلىق بولغان بىر پەردە بىلەن قاپلىنىشى مۇمكىن، قېلىنلىقى تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا (<200℃) بومباردىمان ئىئونلىرىنىڭ ئېنېرگىيەسى بىلەن چەكلىنىپ قالمايدۇ. ئۇ قوشۇلغان ئىقتىدارلىق پەردىلەر، سوغۇق ماشىنىدا پىششىقلاپ ئىشلەنگەن ئېنىق قېلىپلار ۋە تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا چىداملىق قۇرۇلما پولاتلىرىنىڭ يۈزىگە ماس كېلىدۇ.

(4) بۇ ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا كونترول قىلىنىدىغان تەڭپۇڭسىز جەريان. ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق باسقۇچلار، مۇقىم باسقۇچلار، ئامورف قېتىشمىلار قاتارلىق يېڭى ئىقتىدارلىق پەردىلەرنى قولغا كەلتۈرگىلى بولىدۇ.

ئىئون نۇرى ياردىمىدە چۆكتۈرۈشنىڭ كەمچىلىكى تۆۋەندىكىچە.

(1) ئىئون نۇرى بىۋاسىتە رادىئاتسىيە خۇسۇسىيىتىگە ئىگە بولغاچقا، ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ مۇرەككەپ يۈز شەكلىنى بىر تەرەپ قىلىش تەس.

(2) ئىئون نۇرى ئېقىمىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىنىڭ چەكلىنىشى سەۋەبىدىن، چوڭ كۆلەملىك ۋە كەڭ كۆلەملىك ئىشخانا بۇيۇملىرىنى بىر تەرەپ قىلىش تەس.

(3) ئىئون نۇرى ياردىمىدىكى چۆكمە سۈرئىتى ئادەتتە 1nm/s ئەتراپىدا بولۇپ، بۇ نېپىز پەردە قەۋىتى تەييارلاشقا ماس كېلىدۇ، كۆپ مىقداردىكى مەھسۇلاتلارنى قاپلاشقا ماس كەلمەيدۇ.

– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا