Технологияи ҷойгиркунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ технологияи пӯшонидани сӯзандоруи шуоъҳои ионӣ ва буғӣ дар якҷоягӣ бо технологияи коркарди композитии сатҳи ионӣ мебошад. Дар раванди тағйири сатҳи маводҳои сӯзандоруи ионӣ, хоҳ маводҳои нимноқилӣ ва хоҳ маводҳои муҳандисӣ, аксар вақт матлуб аст, ки ғафсии қабати тағйирёфта нисбат ба имплантатсияи ионӣ хеле зиёдтар бошад, аммо инчунин мехоҳад бартариҳои раванди сӯзандоруи ионро нигоҳ дорад, ба монанди қабати тағйирёфта ва субстрат байни сатҳи тез, ки метавонад дар қисми кории ҳарорати хонагӣ коркард шавад ва ғайра. Аз ин рӯ, бо якҷоя кардани имплантатсияи ионӣ бо технологияи пӯшондан, ионҳо бо энергияи муайян ҳангоми пӯшондан пайваста ба сатҳи байни плёнка ва субстрат ворид карда мешаванд ва атомҳои сатҳӣ бо ёрии бархӯрдҳои каскадӣ омехта карда мешаванд ва минтақаи гузариши омехтаи атомро дар наздикии сатҳи ибтидоӣ ташкил медиҳанд, то қувваи пайванд байни плёнка ва субстрат беҳтар карда шавад. Сипас, дар минтақаи омехтаи атом, плёнка бо ғафсӣ ва хосиятҳои зарурӣ бо иштироки нури ионӣ афзоиш меёбад.
Инро таҳшинкунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ (IBED) меноманд, ки хусусиятҳои раванди имплантатсияи ионро нигоҳ медорад ва дар айни замон имкон медиҳад, ки субстрат бо маводи плёнкаи тунук, ки аз субстрат комилан фарқ мекунад, пӯшонида шавад.
Анборкунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ дорои бартариҳои зерин мебошад:
(1) Азбаски таҳшиншавии бо ёрии шуоъҳои ионӣ плазмаро бе ихроҷи газ ба вуҷуд меорад, пӯшишро дар фишори <10-2 Па анҷом додан мумкин аст, ки ифлосшавии газро кам мекунад.
(2) Параметрҳои асосии раванд (энергияи ион, зичии ион) электрикӣ мебошанд. Умуман, ба назорати ҷараёни газ ва дигар параметрҳои ғайриэлектрикӣ ниёз нест, шумо метавонед ба осонӣ афзоиши қабати филмро назорат кунед, таркиб ва сохтори филмро танзим кунед ва такроршавандагии равандро таъмин кунед.
(3) Сатҳи коршоямро бо плёнкае пӯшонидан мумкин аст, ки аз субстрат комилан фарқ мекунад ва ғафсии он бо энергияи ионҳои бомбаборонкунӣ дар ҳарорати паст (<200℃) маҳдуд намешавад. Он барои коркарди сатҳи плёнкаҳои функсионалии легиршуда, қолабҳои дақиқи коркарди хунук ва пӯлоди сохтории бо ҳарорати паст мулоимшуда мувофиқ аст.
(4) Ин раванди ғайримувозинатӣ аст, ки дар ҳарорати хонагӣ назорат карда мешавад. Плёнкаҳои нави функсионалӣ, ба монанди фазаҳои баландҳарорат, фазаҳои субстабил, хӯлаҳои аморфӣ ва ғайраро дар ҳарорати хонагӣ ба даст овардан мумкин аст.
Камбудиҳои таҳшинкунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ инҳоянд:
(1) Азбаски шуои ион хусусиятҳои радиатсияи мустақим дорад, кор бо шакли мураккаби сатҳи кор душвор аст.
(2) Бо сабаби маҳдудияти андозаи ҷараёни шуоъи ионӣ, кор бо қисмҳои корӣ бо миқёси калон ва масоҳати калон душвор аст.
(3) Суръати ҷойгиршавии бо ёрии шуоъҳои ионӣ одатан тақрибан 1 нм/с аст, ки барои тайёр кардани қабатҳои тунуки плёнка мувофиқ аст ва барои пӯшонидани миқдори зиёди маҳсулот мувофиқ нест.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 16 ноябри соли 2023