የአዮን ጨረር አጋዥ የማጠራቀሚያ ቴክኖሎጂ

የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ ከአዮን ወለል ኮምፖዚት ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ ጋር የተጣመረ የአዮን ጨረር መርፌ እና የእንፋሎት ማስቀመጫ ሽፋን ቴክኖሎጂ ነው። የአዮን መርፌ የተወጉ ቁሳቁሶች፣ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች ወይም የምህንድስና ቁሳቁሶች፣ የተቀየረው ንብርብር ውፍረት ከአዮን ተከላ በጣም የሚበልጥ መሆኑ ብዙ ጊዜ ይፈለጋል፣ ነገር ግን እንደ የተሻሻለው ንብርብር እና በሹል በይነገጽ መካከል ያለው ንጣፍ ያሉ የአዮን መርፌ ሂደት ጥቅሞችን ማቆየት ይፈልጋሉ፣ በክፍል ሙቀት የስራ ክፍል ወዘተ ሊሰሩ ይችላሉ። ስለዚህ፣ የአዮን ተከላ ከሽፋን ቴክኖሎጂ ጋር በማጣመር፣ የተወሰነ ኃይል ያላቸው አዮኖች በሚሸፍኑበት ጊዜ በፊልሙ እና በንጣፉ መካከል ባለው በይነገጽ ውስጥ ያለማቋረጥ ይወጋሉ፣ እና የኢንተርፌሻል አቶሞች ከካስኬድ ግጭቶች ጋር ይቀላቀላሉ፣ በፊልሙ እና በንጣፉ መካከል ያለውን የማሰሪያ ኃይል ለማሻሻል ከመጀመሪያው በይነገጽ አጠገብ የአቶም ድብልቅ ሽግግር ዞን ይፈጥራሉ። ከዚያም፣ በአቶም ድብልቅ ዞን ላይ፣ የሚፈለገው ውፍረት እና ባህሪያት ያለው ፊልም የአዮን ጨረር ተሳትፎ እያደገ ይቀጥላል።

ይህ የአዮን ቢም አጋዥ ዲፖዚሽን (IBED) ተብሎ የሚጠራ ሲሆን ይህም የአዮን ተከላ ሂደት ባህሪያትን የሚይዝ ሲሆን ንጣፉ ከንጣፉ ፈጽሞ የተለየ ቀጭን ፊልም ቁሳቁስ እንዲሸፈን ያስችለዋል።

የአዮን ጨረር ድጋፍ ያለው ክምችት የሚከተሉትን ጥቅሞች አሉት

(1) የአዮን ጨረር ድጋፍ የተደረገበት ክምችት ያለ ጋዝ ፈሳሽ ፕላዝማ ስለሚያመነጭ፣ ሽፋን ከ10-2 ፓ በሆነ ግፊት ሊከናወን ይችላል፣ ይህም የጋዝ ብክለትን ይቀንሳል።

(2) መሰረታዊ የሂደት መለኪያዎች (የአዮን ኃይል፣ የአዮን ጥግግት) ኤሌክትሪክ ናቸው። በአጠቃላይ የጋዝ ፍሰትን እና ሌሎች የኤሌክትሪክ ያልሆኑ መለኪያዎችን መቆጣጠር አያስፈልግዎትም፣ የፊልም ንብርብር እድገትን በቀላሉ መቆጣጠር፣ የፊልሙን ቅንብር እና መዋቅር ማስተካከል ይችላሉ፣ ይህም የሂደቱን ተደጋጋሚነት ለማረጋገጥ ቀላል ነው።

(3) የሥራው ወለል ከንጥረ ነገሩ ፈጽሞ የተለየ በሆነ ፊልም ሊሸፈን ይችላል እና ውፍረቱ በዝቅተኛ የሙቀት መጠን (<200℃) የቦምብ ድብደባ አየኖች ኃይል አይገደብም። ለተለጠፉ ተግባራዊ ፊልሞች፣ ለቅዝቃዜ የተሰሩ ትክክለኛ ሻጋታዎች እና ለዝቅተኛ የሙቀት መጠን የተስተካከለ መዋቅራዊ ብረት ላዩን ለማከም ተስማሚ ነው።

(4) በክፍል ሙቀት ቁጥጥር የሚደረግበት ሚዛናዊ ያልሆነ ሂደት ነው። እንደ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ደረጃዎች፣ የማይረጋጉ ደረጃዎች፣ አሞርፎስ ቅይጥ ወዘተ ያሉ አዳዲስ ተግባራዊ ፊልሞች በክፍል ሙቀት ሊገኙ ይችላሉ።

የአዮን ጨረር ድጋፍ ሰጪ ክምችት ጉዳቶች የሚከተሉት ናቸው።

(1) የአዮን ጨረር ቀጥተኛ የጨረር ባህሪያት ስላለው፣ የሥራውን ውስብስብ የወለል ቅርፅ ለመቋቋም አስቸጋሪ ነው

(2) የአዮን ጨረር ፍሰት መጠን ውስንነት ስላለበት ትላልቅ እና ትላልቅ የስራ ክፍሎችን መቋቋም አስቸጋሪ ነው።

(3) የአዮን ጨረር ድጋፍ ያለው የማስቀመጫ ፍጥነት አብዛኛውን ጊዜ 1nm/s አካባቢ ሲሆን ይህም ቀጭን የፊልም ንብርብሮችን ለማዘጋጀት ተስማሚ ነው፣ እና ከፍተኛ መጠን ያላቸውን ምርቶች ለመሸፈን ተስማሚ አይደለም።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ