అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపోజిషన్ టెక్నాలజీ అనేది అయాన్ బీమ్ ఇంజెక్షన్ మరియు వేపర్ డిపోజిషన్ కోటింగ్ టెక్నాలజీలను, అయాన్ సర్ఫేస్ కాంపోజిట్ ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీతో కలపడం. అయాన్ ఇంజెక్ట్ చేయబడిన పదార్థాల ఉపరితల మార్పు ప్రక్రియలో, అవి సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు అయినా లేదా ఇంజనీరింగ్ పదార్థాలు అయినా, మార్పు చేయబడిన పొర యొక్క మందం అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ కంటే చాలా ఎక్కువగా ఉండాలని తరచుగా కోరుకుంటారు. అదే సమయంలో, మార్పు చేయబడిన పొర మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య పదునైన ఇంటర్ఫేస్ ఉండటం, గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద వర్క్పీస్ను ప్రాసెస్ చేయగలగడం వంటి అయాన్ ఇంజెక్షన్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రయోజనాలను కూడా నిలుపుకోవాలని ఆశిస్తారు. అందువల్ల, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ను కోటింగ్ టెక్నాలజీతో కలపడం ద్వారా, కోటింగ్ చేస్తున్నప్పుడు ఒక నిర్దిష్ట శక్తి గల అయాన్లను ఫిల్మ్ మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య ఉన్న ఇంటర్ఫేస్లోకి నిరంతరం ఇంజెక్ట్ చేస్తారు. అప్పుడు, క్యాస్కేడ్ ఘర్షణల సహాయంతో ఇంటర్ఫేషియల్ అణువులు కలిసిపోయి, ప్రారంభ ఇంటర్ఫేస్ సమీపంలో ఒక అణు మిశ్రణ పరివర్తన మండలాన్ని ఏర్పరుస్తాయి. ఇది ఫిల్మ్ మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య బంధన శక్తిని మెరుగుపరుస్తుంది. ఆ తర్వాత, ఈ అణు మిశ్రణ మండలంలో, అయాన్ బీమ్ భాగస్వామ్యంతో అవసరమైన మందం మరియు లక్షణాలతో కూడిన ఫిల్మ్ నిరంతరం పెరుగుతుంది.
దీనిని అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపోజిషన్ (IBED) అని అంటారు, ఇది అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియ యొక్క లక్షణాలను నిలుపుకుంటూనే, సబ్స్ట్రేట్కు పూర్తిగా భిన్నమైన పలుచని పొర పదార్థంతో పూత పూయడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.
అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ కింది ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది.
(1) అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ వాయు ఉత్సర్గం లేకుండా ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేస్తుంది కాబట్టి, పూతను <10-2 Pa పీడనం వద్ద నిర్వహించవచ్చు, ఇది వాయు కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.
(2) ప్రాథమిక ప్రక్రియ పారామితులు (అయాన్ శక్తి, అయాన్ సాంద్రత) విద్యుత్ సంబంధమైనవి. సాధారణంగా వాయు ప్రవాహం మరియు ఇతర విద్యుత్ సంబంధం లేని పారామితులను నియంత్రించాల్సిన అవసరం లేదు, మీరు ఫిల్మ్ పొర పెరుగుదలను సులభంగా నియంత్రించవచ్చు, ఫిల్మ్ యొక్క కూర్పు మరియు నిర్మాణాన్ని సర్దుబాటు చేయవచ్చు, ప్రక్రియ యొక్క పునరావృతతను సులభంగా నిర్ధారించుకోవచ్చు.
(3) వర్క్పీస్ యొక్క ఉపరితలాన్ని సబ్స్ట్రేట్ నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన ఫిల్మ్తో పూత పూయవచ్చు మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత (<200℃) వద్ద బాంబార్డ్మెంట్ అయాన్ల శక్తి ద్వారా మందం పరిమితం కాదు. ఇది డోప్డ్ ఫంక్షనల్ ఫిల్మ్లు, కోల్డ్ మెషిన్డ్ ప్రెసిషన్ మోల్డ్లు మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద టెంపర్ చేయబడిన స్ట్రక్చరల్ స్టీల్ యొక్క ఉపరితల చికిత్సకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
(4) ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద నియంత్రించబడే ఒక అసమతుల్య ప్రక్రియ. అధిక-ఉష్ణోగ్రత దశలు, ఉపస్థిర దశలు, నిరాకార మిశ్రమాలు మొదలైన కొత్త క్రియాత్మక ఫిల్మ్లను గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద పొందవచ్చు.
అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ యొక్క ప్రతికూలతలు.
(1) అయాన్ పుంజం ప్రత్యక్ష వికిరణ లక్షణాలను కలిగి ఉన్నందున, వర్క్పీస్ యొక్క సంక్లిష్ట ఉపరితల ఆకారాన్ని నిర్వహించడం కష్టం.
(2) అయాన్ బీమ్ ప్రవాహం యొక్క పరిమాణ పరిమితి కారణంగా పెద్ద-స్థాయి మరియు పెద్ద-ప్రాంతపు పనిముక్కలతో వ్యవహరించడం కష్టం.
(3) అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ రేటు సాధారణంగా 1nm/s ఉంటుంది, ఇది పలుచని ఫిల్మ్ పొరల తయారీకి అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు పెద్ద పరిమాణంలో ఉత్పత్తులను ప్లేటింగ్ చేయడానికి అనుకూలంగా ఉండదు.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: నవంబర్-16-2023