Id-depożizzjoni b'raġġ ta' joni dirett hija tip ta' depożizzjoni assistita b'raġġ ta' joni. Id-depożizzjoni b'raġġ ta' joni dirett hija depożizzjoni b'raġġ ta' joni mhux separata bil-massa. Din it-teknika ntużat għall-ewwel darba biex tipproduċi films tal-karbonju simili għad-djamanti fl-1971, ibbażata fuq il-prinċipju li l-parti prinċipali tal-katodu u l-anodu tas-sors tal-jone hija magħmula mill-karbonju.
Il-gass sensibbli jittieħed fil-kompartiment tal-iskariku, u jiżdied kamp manjetiku estern biex jikkawża skariku tal-plażma taħt kundizzjonijiet ta' pressjoni baxxa, billi jiddependi fuq l-effett ta' sputtering tal-joni fuq l-elettrodi biex jipproduċu joni tal-karbonju. Il-joni tal-karbonju u l-joni densi fil-plażma ġew indotti fil-kompartiment tad-depożizzjoni fl-istess ħin, u ġew aċċellerati biex jiġu injettati fuq is-sottostrat minħabba l-pressjoni ta' polarizzazzjoni negattiva fuq is-sottostrat.
Ir-riżultati tat-test juru li l-joni tal-karbonju bl-enerġija ta' 50~100eV f'kamratemperatura, f'Si, NaCI, KCI, Ni u sottostrati oħra fuq il-preparazzjoni ta' film tal-karbonju trasparenti simili għad-djamanti, reżistività għolja daqs 10Q-cm, indiċi ta' rifrazzjoni ta' madwar 2, insolubbli f'aċidi inorganiċi u organiċi, għandhom ebusija għolja ħafna.
——Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 31 ta' Awwissu 2023