Pekali rintangan suhu filem logam berbeza dengan ketebalan filem, filem nipis negatif, filem tebal positif, dan filem tebal adalah serupa tetapi tidak sama dengan bahan pukal. Secara amnya, pekali suhu rintangan rintangan berubah daripada negatif kepada positif apabila ketebalan filem meningkat kepada puluhan nanometer.
Di samping itu, kadar penyejatan juga mempengaruhi pekali suhu rintangan filem logam. Kadar penyejatan rendah yang disediakan oleh lapisan filem adalah longgar, elektron merentasi halangan potensinya dan keupayaan untuk menghasilkan kekonduksian adalah lemah, ditambah pula dengan pengoksidaan dan penjerapan, jadi nilai rintangan adalah tinggi, pekali suhu rintangan adalah kecil, atau negatif, dengan peningkatan dalam kadar penyejatan, pekali suhu rintangan rintangan perubahan kecil daripada besar, daripada negatif kepada positif. Ini disebabkan oleh kadar penyejatan rendah filem yang disediakan disebabkan oleh pengoksidaan sifat semikonduktor, pekali suhu rintangan nilai negatif. Filem yang disediakan pada kadar penyejatan yang tinggi cenderung mempunyai sifat logam dan mempunyai pekali suhu rintangan positif.
Oleh kerana struktur filem berubah secara tidak dapat dipulihkan dengan suhu, pekali suhu rintangan dan rintangan filem juga berubah dengan suhu lapisan salutan semasa penyejatan, dan semakin nipis filem itu, perubahan yang lebih drastik. Ini boleh dianggap sebagai hasil daripada perubahan kimia yang disebabkan oleh penyejatan semula dan pengagihan semula zarah pulau anggaran atau filem struktur tiub pada substrat, serta penyerakan kekisi, penyerakan kekotoran, penyerakan kecacatan kekisi, dan pengoksidaan.
–Artikel ini dikeluarkan olehpembuatan mesin salutan vakumr Guangdong Zhenhua
Masa siaran: Jan-18-2024