Peralatan salutan vakum biasanya terdiri daripada beberapa komponen utama, masing-masing dengan fungsi khususnya sendiri, yang berfungsi secara bersama untuk mencapai pemendapan filem yang cekap dan seragam. Di bawah adalah penerangan tentang komponen utama dan fungsinya:
Komponen Utama
ruang vakum:
Fungsi: Menyediakan persekitaran tekanan rendah atau vakum tinggi untuk menghalang bahan salutan daripada bertindak balas dengan kekotoran bawaan udara semasa penyejatan atau terpercik, memastikan ketulenan dan kualiti filem.
Struktur: Biasanya diperbuat daripada keluli tahan karat atau aluminium berkekuatan tinggi, reka bentuk dalaman mengambil kira pengagihan aliran udara dan kemudahan penempatan substrat.
Sistem pam vakum:
Fungsi: Digunakan untuk mengepam keluar gas di dalam ruang vakum untuk mencapai tahap vakum yang diperlukan.
Jenis: Termasuk pam mekanikal (cth pam ram berputar), pam turbomolekul, pam resapan dan pam ion.
Sumber penyejatan atau sumber sputtering:
Fungsi: memanaskan dan menyejat bahan salutan untuk membentuk wap atau plasma dalam vakum.
Jenis: termasuk sumber pemanasan rintangan, sumber penyejatan rasuk elektron, sumber sputtering magnetron dan sumber penyejatan laser, dsb.
Pemegang substrat dan mekanisme berputar:
Fungsi: Memegang substrat dan memastikan pemendapan seragam bahan salutan pada permukaan substrat dengan putaran atau ayunan.
PEMBINAAN: Biasanya termasuk pengapit boleh laras dan mekanisme berputar/berayun untuk menampung substrat pelbagai bentuk dan saiz.
Bekalan kuasa dan sistem kawalan:
Fungsi: Membekalkan kuasa kepada sumber penyejatan, sumber sputtering dan peralatan lain, dan mengawal parameter keseluruhan proses salutan seperti suhu, vakum dan masa.
Komponen: Termasuk bekalan kuasa, panel kawalan, sistem kawalan berkomputer dan penderia pemantauan.
Sistem Bekalan Gas (untuk peralatan salutan sputter):
Fungsi: Membekalkan gas lengai (cth, argon) atau gas reaktif (cth, oksigen, nitrogen) untuk mengekalkan plasma atau untuk mengambil bahagian dalam tindak balas kimia untuk menghasilkan filem nipis tertentu.
Komponen: Termasuk silinder gas, pengawal aliran dan paip penghantaran gas.
Sistem Penyejukan:
Fungsi: menyejukkan sumber penyejatan, sumber sputtering dan ruang vakum untuk mengelakkan terlalu panas.
Jenis: termasuk sistem penyejukan air dan sistem penyejukan udara, dsb.
Sistem pemantauan dan pengesanan:
Fungsi: Pemantauan masa nyata parameter utama dalam proses salutan, seperti ketebalan filem, kadar pemendapan, vakum dan suhu, untuk memastikan kualiti salutan.
Jenis: termasuk imbangan mikro kristal kuarza, monitor ketebalan optik dan penganalisis gas sisa, dsb.
Peranti pelindung:
Fungsi: Memastikan keselamatan pengendali dan peralatan daripada bahaya yang disebabkan oleh suhu tinggi, voltan tinggi atau persekitaran vakum.
Komponen: Termasuk pengawal, butang berhenti kecemasan dan kunci keselamatan, dsb.
rumuskan.
Peralatan salutan vakum merealisasikan proses mendepositkan filem nipis berkualiti tinggi melalui kerja sinergi komponen ini. Mesin ini memainkan peranan penting dalam penyediaan filem nipis optik, elektronik, hiasan dan berfungsi.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Jul-23-2024