धातूच्या फिल्म रेझिस्टन्स तापमान गुणांक हा फिल्मच्या जाडीनुसार बदलतो, पातळ फिल्म नकारात्मक असतात, जाड फिल्म सकारात्मक असतात आणि जाड फिल्म समान असतात परंतु मोठ्या प्रमाणात असलेल्या पदार्थांसारख्या नसतात. सर्वसाधारणपणे, फिल्मची जाडी दहा नॅनोमीटरपर्यंत वाढत असताना प्रतिरोध तापमान गुणांक नकारात्मक ते सकारात्मक मध्ये बदलतो.
याव्यतिरिक्त, बाष्पीभवन दर धातूच्या फिल्म्सच्या प्रतिरोधक तापमान गुणांकावर देखील परिणाम करतो. फिल्म लेयरद्वारे तयार केलेला कमी बाष्पीभवन दर सैल असतो, त्याच्या संभाव्य अडथळ्याच्या ओलांडून इलेक्ट्रॉन आणि चालकता निर्माण करण्याची क्षमता कमकुवत असते, ऑक्सिडेशन आणि शोषण सह एकत्रित, म्हणून प्रतिकार मूल्य जास्त असते, प्रतिकार तापमान गुणांक लहान असतो, किंवा अगदी नकारात्मक असतो, बाष्पीभवन दरात वाढ झाल्याने, मोठ्या ते नकारात्मक ते सकारात्मक पर्यंत प्रतिकाराचा प्रतिकार तापमान गुणांक लहान बदलतो. हे अर्धसंवाहक गुणधर्मांच्या ऑक्सिडेशनमुळे तयार केलेल्या फिल्मच्या कमी बाष्पीभवन दरामुळे होते, नकारात्मक मूल्यांचे प्रतिकार तापमान गुणांक. उच्च बाष्पीभवन दराने तयार केलेल्या फिल्म्समध्ये धातूचे गुणधर्म असतात आणि सकारात्मक प्रतिकार तापमान गुणांक असतो.
तापमानानुसार फिल्मची रचना अपरिवर्तनीयपणे बदलत असल्याने, बाष्पीभवन दरम्यान कोटिंग लेयरच्या तापमानासोबत फिल्मचा प्रतिकार आणि प्रतिकार तापमान गुणांक देखील बदलतो आणि फिल्म जितकी पातळ असेल तितकाच बदल अधिक तीव्र असतो. सब्सट्रेटवरील अंदाजे बेट किंवा ट्यूबलर स्ट्रक्चर फिल्मच्या कणांचे पुनर्बाष्पीभवन आणि पुनर्वितरण, तसेच जाळीचे विखुरणे, अशुद्धता विखुरणे, जाळीच्या दोषांचे विखुरणे आणि ऑक्सिडेशन यामुळे होणाऱ्या रासायनिक बदलांचा परिणाम म्हणून हे विचारात घेतले जाऊ शकते.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादनr ग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: जानेवारी-१८-२०२४