व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे सामान्यत: अनेक प्रमुख घटकांपासून बनलेली असतात, प्रत्येकाचे स्वतःचे विशिष्ट कार्य असते, जे कार्यक्षम, एकसमान फिल्म डिपॉझिशन साध्य करण्यासाठी एकत्रितपणे कार्य करतात. खाली मुख्य घटकांचे आणि त्यांच्या कार्यांचे वर्णन दिले आहे:
मुख्य घटक
व्हॅक्यूम चेंबर:
कार्य: बाष्पीभवन किंवा थुंकताना कोटिंग मटेरियलला हवेतील अशुद्धतेशी प्रतिक्रिया होण्यापासून रोखण्यासाठी कमी-दाब किंवा उच्च-व्हॅक्यूम वातावरण प्रदान करते, ज्यामुळे फिल्मची शुद्धता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित होते.
रचना: सामान्यतः उच्च-शक्तीच्या, स्टेनलेस स्टील किंवा अॅल्युमिनियमपासून बनवलेले, अंतर्गत डिझाइनमध्ये हवेचा प्रवाह वितरण आणि सब्सट्रेट प्लेसमेंटची सोय लक्षात घेतली जाते.
व्हॅक्यूम पंप सिस्टम:
कार्य: आवश्यक व्हॅक्यूम पातळी गाठण्यासाठी व्हॅक्यूम चेंबरमधील वायू बाहेर काढण्यासाठी वापरला जातो.
प्रकार: यांत्रिक पंप (उदा. रोटरी व्हेन पंप), टर्बोमोलेक्युलर पंप, डिफ्यूजन पंप आणि आयन पंप यांचा समावेश आहे.
बाष्पीभवन स्रोत किंवा थुंकण्याचे स्रोत:
कार्य: कोटिंग सामग्री गरम करते आणि बाष्पीभवन करून व्हॅक्यूममध्ये बाष्प किंवा प्लाझ्मा तयार करते.
प्रकार: प्रतिरोधक ताप स्रोत, इलेक्ट्रॉन बीम बाष्पीभवन स्रोत, मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग स्रोत आणि लेसर बाष्पीभवन स्रोत इत्यादींसह.
सब्सट्रेट होल्डर आणि फिरणारी यंत्रणा:
कार्य: सब्सट्रेटला धरून ठेवते आणि रोटेशन किंवा दोलनाद्वारे सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर कोटिंग मटेरियलचे एकसमान संचयन सुनिश्चित करते.
बांधकाम: सामान्यतः वेगवेगळ्या आकार आणि आकारांच्या सब्सट्रेट्सना सामावून घेण्यासाठी समायोज्य क्लॅम्प आणि फिरणारे/दोलन यंत्रणा समाविष्ट असतात.
वीज पुरवठा आणि नियंत्रण प्रणाली:
कार्य: बाष्पीभवन स्रोत, थुंकणे स्रोत आणि इतर उपकरणांना शक्ती प्रदान करते आणि तापमान, व्हॅक्यूम आणि वेळ यासारख्या एकूण कोटिंग प्रक्रियेचे पॅरामीटर्स नियंत्रित करते.
घटक: वीज पुरवठा, नियंत्रण पॅनेल, संगणकीकृत नियंत्रण प्रणाली आणि देखरेख सेन्सर समाविष्ट आहेत.
गॅस पुरवठा प्रणाली (स्पटर कोटिंग उपकरणांसाठी):
कार्य: प्लाझ्मा राखण्यासाठी किंवा विशिष्ट पातळ थर तयार करण्यासाठी रासायनिक अभिक्रियेत सहभागी होण्यासाठी निष्क्रिय वायू (उदा. आर्गॉन) किंवा प्रतिक्रियाशील वायू (उदा. ऑक्सिजन, नायट्रोजन) पुरवते.
घटक: गॅस सिलेंडर, फ्लो कंट्रोलर आणि गॅस डिलिव्हरी पाईपिंग समाविष्ट आहे.
शीतकरण प्रणाली:
कार्य: जास्त गरम होण्यापासून रोखण्यासाठी बाष्पीभवन स्रोत, स्पटरिंग स्रोत आणि व्हॅक्यूम चेंबर थंड करते.
प्रकार: पाणी शीतकरण प्रणाली आणि हवा शीतकरण प्रणाली इत्यादींचा समावेश आहे.
देखरेख आणि शोध प्रणाली:
कार्य: कोटिंग प्रक्रियेतील प्रमुख पॅरामीटर्सचे रिअल-टाइम निरीक्षण, जसे की फिल्मची जाडी, निक्षेपण दर, व्हॅक्यूम आणि तापमान, कोटिंगची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी.
प्रकार: क्वार्ट्ज क्रिस्टल मायक्रोबॅलन्स, ऑप्टिकल जाडी मॉनिटर आणि अवशिष्ट वायू विश्लेषक इत्यादींसह.
संरक्षक उपकरणे:
कार्य: उच्च तापमान, उच्च व्होल्टेज किंवा व्हॅक्यूम वातावरणामुळे होणाऱ्या धोक्यांपासून ऑपरेटर आणि उपकरणांची सुरक्षितता सुनिश्चित करते.
घटक: गार्ड, आपत्कालीन स्टॉप बटणे आणि सुरक्षा इंटरलॉक इत्यादींचा समावेश आहे.
सारांश.
व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे या घटकांच्या समन्वयात्मक कार्याद्वारे उच्च-गुणवत्तेच्या पातळ फिल्म्स जमा करण्याची प्रक्रिया साकार करतात. ऑप्टिकल, इलेक्ट्रॉनिक, सजावटीच्या आणि कार्यात्मक पातळ फिल्म्स तयार करण्यात ही मशीन्स महत्त्वाची भूमिका बजावतात.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: जुलै-२३-२०२४